晶體生長爐SKJ-50CZ
晶體生長爐SKJ-50CZ 的詳細介紹
SKJ-50CZ是一款高質(zhì)量的CZ晶體生長爐,可針對于材料的實驗探索,也可以適用于晶體材料的生產(chǎn)。此款晶體生長爐已經(jīng)被證實可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶,如藍寶石、GGG,YAG,LaAlO3,Si 和 Ge 等,*高溫度可達2100℃,可長出晶體尺寸為3英寸。
技術(shù)參數(shù)
感應射頻功率為25KW,射頻0.2-20KHz 提拉速度 :0.1-20mm/h,仔晶桿旋轉(zhuǎn)速度0~~40RPM 提拉行程:50CM 可熔融溫度為:2100℃ 輸入電源:三相,380V,25KW 真空腔體尺寸為 :50cmdia.℃70cmh,其真空度可以達到10-3torr(用機械泵)10-5tor(用擴散泵) 冷卻水需求: 所需水壓 0.13~~0.18MPa 所需水流量60L/minute 冷卻水會同多爐腔體夾層和仔晶桿電爐尺寸: 爐體: L880x W1250x H2640mm 控制柜:L680x W540x H1700mm 中頻柜: L965xW 812xH1219mm 電爐凈重 1.5T
培料的熔融 | 種仔晶 | 提拉 | 熔融 |