直流濺射工作原理：

1.低氣壓下（一定的真空度）氣體的輝光放電現(xiàn)象：

2. 靶材接高壓，本設(shè)備為-2400V，為負(fù)極；樣品臺接地，為正極；

3. 靶材與樣品臺之間形成電場，電離氣體，可用空氣、Ar、N2；

4.氣體電離后，正離子飛向負(fù)極，轟擊靶材，靶材原子被濺射飛出，沉積到樣品上形成導(dǎo)電膜；

5.電子或負(fù)離子在電場的作用下，飛向樣品臺，會加熱樣品，濺射電流10mA，濺射時(shí)間1分鐘，樣品臺溫度約為60℃

工作特點(diǎn)：濺射電流隨壓力變化，壓力升高，濺射電流才能增加；

          壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大，熱損傷隨之加劇。

應(yīng)用領(lǐng)域：非熱敏性樣品，如無機(jī)鹽類粉體等，性價(jià)比較高

                 適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺式電鏡等

GVC-1000/1200離子濺射儀

金靶

顆粒尺寸20~50nm

產(chǎn)品特點(diǎn)：

一、安全

1．高壓線多重防護(hù)，外加8×5透明真空管，安全；

2．外殼良好接地；

3．真空互鎖；

4．電流＞50mA，真空度超過100Pa，系統(tǒng)自動切斷濺射；

5．實(shí)體按鍵，安全；

6．濺射頭采用阻尼設(shè)計(jì)，任意位置懸停

二、信息量大

1．濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示，簡單直觀；

2．靶材使用時(shí)間，儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動記錄，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。

三、快速上手

       設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)?，在操作人員更換時(shí)，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備。

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