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半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/10/11 15:28:45
  • 訪問次數(shù)250
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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北京卓立漢光儀器有限公司成立于1999年,是國內(nèi)精密光學(xué)儀器和精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)與控制技術(shù)產(chǎn)品的供應(yīng)商之一,致力于為廣大光電行業(yè)從業(yè)者提供針對(duì)性的產(chǎn)品及解決方案。 目前公司的位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)高等院校和激光加工設(shè)備廠商等生產(chǎn)型企業(yè)用戶單位中。自2000年通用型三光柵光譜儀量產(chǎn)后,公司持續(xù)推出多個(gè)系列的熒光、拉曼、太陽能電池檢測等光譜測量系統(tǒng),同樣在上述用戶群體中收到歡迎。成立20年來,卓立漢光始終堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)和優(yōu)質(zhì)服務(wù)的經(jīng)營理念,取得了穩(wěn)步發(fā)展。目前其在國內(nèi)擁有300多名員工,在上海、深圳、成都、西安設(shè)立分公司,在法國、波蘭、韓國等國家擁有合作關(guān)系良好的代理商,構(gòu)建了覆蓋主要市場的行銷網(wǎng)絡(luò)。
此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括:半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元,配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件??梢愿鶕?jù)客戶不同的需求,實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。
半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品概述

 

說明:

此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括:半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元,配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件。可以根據(jù)客戶不同的需求,實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。

半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備特點(diǎn):

  • 系統(tǒng)包含完整的裝夾和對(duì)位結(jié)構(gòu),可以根據(jù)客戶實(shí)際需求定制
  • 控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
  • 兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu),不同的Mark點(diǎn)圖形、進(jìn)行不同的操作動(dòng)作
  • 可對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行多維度微步調(diào)整
  • 多工位配置,提高工作效率

系統(tǒng)參數(shù):(本系列產(chǎn)品為設(shè)計(jì)規(guī)格,技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn))
 

指標(biāo)

參數(shù)

機(jī)器視覺分辨率(μm)

0.1

顯微鏡倍率

0.5~4.5

攝像頭分辨率

2048×1536

幀率(fps)

15

攝像頭類型

單色

光源

單色同軸光源

Mark點(diǎn)識(shí)別重復(fù)性(μm)

0.1

Mark點(diǎn)識(shí)別對(duì)位精度(μm)

<0.5

大行程X軸滑臺(tái)行程(mm)

400

大行程Y軸滑臺(tái)行程(mm)

200

大行程重復(fù)定位精度(μm)

1

大行程運(yùn)動(dòng)分辨率(μm)

±1

精密對(duì)位X軸滑臺(tái)行程(mm)

10

精密對(duì)位Y軸滑臺(tái)行程(mm)

10

精密對(duì)位Z軸滑臺(tái)行程(mm)

20

精密對(duì)位線性維度單向重復(fù)定位精度(μm)

±1

精密對(duì)位線性運(yùn)動(dòng)分辨率(μm)

0.1

精密對(duì)位θZ軸滑臺(tái)行程(°)

5

晶圓工位(個(gè))

2

晶圓真空吸附通道(路)

4

 
 
關(guān)鍵詞:機(jī)器視覺 顯微鏡
產(chǎn)品對(duì)比
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