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日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐，潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

日本YAMATO雅馬拓 DTN430C潔凈厭氧高溫氣氛爐產(chǎn)品特點(diǎn)：

. zui高工作溫度360℃和500℃。

. 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。

. 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短，N2 消耗量很低。

. 磁密封保持高氣密性，采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。

. 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。

. 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。

. 可選型號(hào)DTN430C/630C/450C/650C

安全性

. 門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)

. 溫度過(guò)升防止器

. 氧濃度異常安全裝置

. 氮?dú)鈮毫z測(cè)

. 氮?dú)饬髁繖z測(cè)

. 冷卻水流量檢測(cè)

. 漏水傳感器

. 過(guò)電流漏電漏電保護(hù)開(kāi)關(guān);

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