產(chǎn)品描述
常溫SEM原位納米壓痕儀——NanoFlip納米壓痕儀提供高精度XYZ位移,可定位樣品進(jìn)行測(cè)試,還提供翻轉(zhuǎn)機(jī)制,可定位樣品進(jìn)行成像。InView軟件附帶一套測(cè)試方法,涵蓋一系列測(cè)試協(xié)議,并允許用戶創(chuàng)建自己的新穎測(cè)試方法。InForce50驅(qū)動(dòng)器在真空和常壓條件下表現(xiàn)同樣出色。InView軟件可以記錄SEM或其他顯微鏡圖像,并與機(jī)械測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行同步。創(chuàng)新的FIB-to-Test技術(shù)允許樣品傾斜90°,無需移除樣品即可實(shí)現(xiàn)從FIB到壓痕測(cè)試的無縫過渡。
主要功能
· InForce 50驅(qū)動(dòng)器,用于電容位移測(cè)量,并配有電磁啟動(dòng)的可互換探頭
· InQuest高速控制器電子設(shè)備,具有100kHz數(shù)據(jù)采集速率和20μs時(shí)間常數(shù)
· 用于樣本定位的XYZ移動(dòng)系統(tǒng)
· SEM視頻捕獲,可以將SEM圖像和測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行同步
· 的軟件集成壓頭校準(zhǔn)系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)快速,準(zhǔn)確的壓頭校準(zhǔn)
· 與Windows®10兼容的InView控制和數(shù)據(jù)查看軟件以及協(xié)助用戶設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)的方法開發(fā)功能
主要應(yīng)用
· 硬度和模量測(cè)量(Oliver-Pharr)
· 連續(xù)剛度測(cè)量
· 高速材料性質(zhì)分布圖
· ISO 14577硬度測(cè)試
· 聚合物的納米動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)
· 定量刮擦和磨損測(cè)試
工業(yè)應(yīng)用
· 大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所
· 支柱和微球制造
· MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))
· 材料制造(結(jié)構(gòu)壓縮/斷裂測(cè)試)
· 電池和元件制造