日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SW1-1
可以測量從大氣壓到5×10M -2 Pa的寬范圍的皮拉尼真空計。
此外，該真空計消除了傳統(tǒng)控制器（傳感器單元）的操作和顯示部件，并將其縮小到低限度的必要功能，從而實現(xiàn)了“降低成本”和“節(jié)省空間”。
特征
廣域測量：可進行從大氣壓到5×10 -2 Pa 的廣域測量
提高耐沖擊性：高耐沖擊性設(shè)計結(jié)構(gòu)
出色的大氣壓精度：無論真空計的安裝位置如何，精度都在±20%以內(nèi)
燈絲材料/鉑（Pt）：耐腐蝕鉑用作燈絲材料。
提高可視性：配備用于檢查異常的 LED
可一鍵調(diào)節(jié)：可一鍵調(diào)節(jié)氣壓和調(diào)零。
可維護性：易于更換手寫筆
適用測針擴展：除NW16/25規(guī)格外，還增加了Φ15/18規(guī)格、對角法蘭規(guī)格、錐螺紋R1/8規(guī)格。
測量值輸出信號：0 至 10 V 壓力日志輸出為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
控制輸出信號：可輸出2個設(shè)定點（SW1-1）
串行通信規(guī)格：可進行RS-232C/RS-485通信（SW1-2）
符合標(biāo)準(zhǔn)：兼容CE標(biāo)準(zhǔn)
運用
太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體、電子元件等的制造
用于設(shè)備低真空區(qū)域的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制
在線型和單晶片型等具有許多工藝室的各種類型
用于制造設(shè)備低真空區(qū)域的過程控制
適用于各種有振動和沖擊的真空排氣管路
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SW1-1
規(guī)格
| 模型 | SW1-1 | SW1-2 |
| 可連接觸控筆 | 一 | |
| 適用觸控筆 | SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（φ18）、SWP-P15（φ15）、SWP-CF16（ICF034）、SWP-1S（ ASME BPE 衛(wèi)生型 1") | |
| 測量壓力范圍 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa（Pa（顯示范圍：1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa） | |
| 測量精度* | 1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±10% | |
| 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa, 1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa : ±20% | ||
| 可重復(fù)性 | 1×10 -1 Pa 至 1×10 +4 Pa : ±2% | |
| 采樣時間 | 50ms 5次移動平均處理 | |
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0～10V | |
| 壓力指示（對數(shù)輸出） 1.7V ~ 8.0V 1V/位（輸出范圍：1.0V ~ 8.1V） | ||
| (更新時間) 50ms | ||
| 控制輸入信號 | 集電極開路輸入，負(fù)邏輯 | - |
| ADJ調(diào)節(jié)（零位調(diào)節(jié)、氣壓調(diào)節(jié)） | - | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出， | - |
| 錯誤信號 | - | |
| 設(shè)定點 1、2 | - | |
| 設(shè)定值監(jiān)視器 | 設(shè)定點 1、2：0-10V 日志輸出 | - |
| 串行通信規(guī)范 | - | RS232C/RS485 |
| LED顯示屏 | POWER/ERROR：電源，錯誤指示燈 | |
| SET-1：設(shè)定點 1 LED | - | |
| SET-2：設(shè)定點 2 LED | - | |
| 燈絲材料 | 鉑 | |
| 工作溫度限制 | 10~40℃ | |
| 工作濕度范圍 | 15～80%（無冷凝） | |
| 知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30（傳感器單元） | |
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | |
| 電源電壓 | DC18V~30V，2W（通電時4.8W） | |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15-pin (M2.6mm螺絲) 傳感器單元側(cè) | |
| 大量的 | 150g（含 SWP-16） | |
| 尺寸（電源）WxDxH | 70mm×46mm×28mm | |
| 配件 | 快速手冊 | |
| 選項 | I/O連接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺絲））、檢驗報告、通用校準(zhǔn)測試報告、JCSS校準(zhǔn)證書 | |
| 顯示：ISG1（1ch）、IM1R1/IM2R1（4ch） | - | |
