日本ulvac熱陰極電離真空計(jì) ST200-A/R/E
這是一個(gè)新系列的換能器類型“G-TRAN 系列多離子規(guī)”，可以連接不同測(cè)量范圍的觸針。本產(chǎn)品為三極管電離真空計(jì)，不易失去靈敏度，即使在真空計(jì)的惡劣環(huán)境下也能進(jìn)行更長(zhǎng)時(shí)間、更準(zhǔn)確的真空測(cè)量。在繼承長(zhǎng)壽命、低運(yùn)行成本的理念的同時(shí)，我們進(jìn)行了改進(jìn)，使其更加人性化。
特征
提高可用性：PC/智能手機(jī)連接可實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：燈絲功率監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
可連接不同量程的接點(diǎn)：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應(yīng)用選擇接點(diǎn)。
緊湊：比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多（控制器體積減少 56%），最小的級(jí)別
擴(kuò)充產(chǎn)品陣容：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）
世界三極管型金屬電離真空計(jì)：真空計(jì)即使在惡劣環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命
壓力測(cè)量范圍廣：可測(cè)量從大氣壓到高真空范圍（1×10 +5至 1×10 -5 Pa）（連接選購(gòu)件 SWU10-R 時(shí)）
精確的大氣壓測(cè)量：可以檢查腔室開(kāi)口的大氣壓（連接可選單元 SAU 時(shí)）
用途
用于有機(jī)EL、觸控面板等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)和過(guò)程控制
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力
用于在含有許多碳?xì)浠衔铮ㄓ突┑拇髿庵羞M(jìn)行測(cè)量
用于在真空部件加工過(guò)程中殘留切削油或清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量
用于希望減少更換真空計(jì)測(cè)針頻率的真空設(shè)備
日本ulvac熱陰極電離真空計(jì) ST200-A/R/E
規(guī)格
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（即將發(fā)布） | |
| 規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通信規(guī)范 | EtherCAT 規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器 | SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) | |||
| 可連接傳感器 | 多離子規(guī)傳感器：1 個(gè) 皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個(gè)（選項(xiàng)） 大氣壓傳感器 SAU：1 個(gè)（選項(xiàng)） | |||
| 重復(fù)性 (N 2 ) | ST200 獨(dú)立模式：±2% | |||
| 采樣時(shí)間 | 60ms 5次移動(dòng)平均處理 | |||
| 測(cè)量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新時(shí)間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號(hào) | 使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開(kāi)路輸入、負(fù)邏輯運(yùn)行 | - | - | |
| 控制輸出信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn) 1/2/3，發(fā)射有效， 燈絲功率監(jiān)控 額定值：24V MAX，50mA MAX，飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通信規(guī)范 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED顯示屏 | POWER/ERROR：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） | |||
| 發(fā)射電流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法，發(fā)射電流2mA，柵極電壓約330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 +5 Pa（壓力） *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨(dú)考慮。 | |||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 17cm3 （ SWT-16）、19cm3 （ SWT-25） | |||
| 工作溫度限制 | 10 至 50°C | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無(wú)冷凝） | |||
| 貯存溫度 | -20 至 65°C（未通電時(shí)無(wú)冷凝） | |||
| 知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)等級(jí) | IP30 | |||
| 電源電壓 | 20 至 28 VDC（紋波、噪聲 1% 或更低） 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15針（M2.6螺絲） | |||
| 大量的 | 控制器：約 280g 觸控筆（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | 行政長(zhǎng)官 | |||
| 選項(xiàng) | 多離子計(jì)傳感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質(zhì)：燈絲：Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/鎳鍍層 | ||
| 皮拉尼規(guī) | SWU10-R *也兼容傳統(tǒng) SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì): 燈絲 - Pt, 其他 - BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊料 | |||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供電） | |||
| 顯示單元電纜 | SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他 | 檢驗(yàn)報(bào)告、一般校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告、JCSS校準(zhǔn)證書(shū) | |||
