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EMS150 離子濺射儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱帝國科技
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/10/26 17:51:06
  • 訪問次數(shù)222
產(chǎn)品標簽:

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公司介紹
帝國科技隸屬于蔚柔(上海)電子科技有限公司,多年來深耕于大中華地區(qū)通用科研以及產(chǎn)線設備,與國內(nèi)外研究機構密切合作。
我們的專業(yè)團隊多由畢業(yè)于諸如劍橋大學、帝國理工學院、清華大學等國內(nèi)外高校的碩士、博士組成,具有深厚的技術背景和深厚的研發(fā)經(jīng)驗。如今憑借著杰出的團隊,帝國科技正孜孜不倦地為印刷電子行業(yè)的研究人員以及學者提供綜合解決方案。我們的解決方案涉及印刷電子制備過程中的各個環(huán)節(jié),包括材料供應、預處理設備,制備系統(tǒng)和后處理設備。
我們堅持以客戶的需求為主導,致力于為客戶提供智能的全套印刷電子解決方案。作為專業(yè)的印刷電子解決方案供應商,我們不單單為客戶提供印刷電子硬件設備,我們還為客戶提供技術咨詢、方案設計以及可行性驗證等一站式技術服務,精準快捷地解決客戶需求。
期待我們的高質(zhì)量解決方案能夠助力該領域的創(chuàng)新和革命。

材料供應
帝國科技正在與國內(nèi)外眾多優(yōu)秀的材料供應商合作,為客戶提供的材料選擇?,F(xiàn)在我司主要提供的材料主要包括:PI, PET, PDMS, PEN, ITO-PEN等印刷電子常用基底材料以及各種常用的印刷墨水、漿料等。

預處理
樣品制備過程中,基底表面的潔凈程度、親疏水性等性能對最終的打印效果起到了至關重要的作用。帝國科技和國外廠商合作,為客戶提供必要的印刷電子樣品預處理技術,如樣品表面清洗和表面改性等。

制備系統(tǒng)
客戶可以從我們這里找到所有可能的制造技術,包括狹縫涂布、刮涂、點膠、壓電噴墨打印、熱噴墨打印、絲網(wǎng)印刷等。

后處理
打印樣品能否達到預期效果很大一部分取決于打印材料是否使用合適的固化工藝。帝國科技為客戶提供了全套的打印樣品后處理工藝,包括傳統(tǒng)的加熱臺固化和UV固化, 以及的NIR固化和光子燒結。

產(chǎn)品業(yè)務
EMS150/300是一款多功能緊湊型鍍膜系統(tǒng)
EMS150 離子濺射儀 產(chǎn)品信息

EMS 150/300是一款多功能緊湊型鍍膜系統(tǒng), 對于SEM, FESEM,TEM樣品制備及其它鍍膜應用非常理想, 直徑為165mm/300mm的腔室可容納多種需要鍍導電膜的樣品, 尤其在配套電鏡應用中提高成像質(zhì)量提供6個版本的儀器:
EMS150R S Plus – 噴金儀/離子濺射儀(真空噴鍍非氧化型金屬,  Au, Pt, Pd等)
EMS150R E Plus – 噴碳儀/碳蒸鍍儀(真空噴鍍碳膜, 特別適用于EDS,EBSD)
EMS150R ES Plus–真空鍍膜儀( 集150R S和150R E功能于一體, 結構緊湊) 
EMS150T S Plus– 高真空離子濺射儀(分子泵超高真空, 多靶材,  Cr, W, Cu, Pt等) 
EMS150T E Plus– 高真空碳蒸鍍儀(分子泵超高真空適用于TEM/Cs-TEM使用) 
EMS150T ES Plus–高真空鍍膜儀( 集150T S和150T E功能于一體, 結構緊湊) 
EMS300R T–超大樣品室多濺射頭鍍膜儀( 300mm超大樣品室,3個濺射頭保證大面積均勻鍍膜效果)
150R是一款多功能緊湊型機械泵抽真空鍍膜系統(tǒng),對于SEM樣品制備及其它鍍膜應用非常理想。直徑為165mm/6.5”的腔室可容納多種需要鍍導電膜的樣品 – 尤其用于在SEM應用中提高成像質(zhì)量。
150R S Plus
機械泵抽真空離子濺射鍍膜儀,適于給樣品鍍制不氧化金屬膜(即貴金屬膜),如金、銀、鉑和鈀。 
150R E Plus
機械泵抽真空蒸發(fā)鍍碳儀,使用碳絲或碳繩為SEM樣品鍍膜。 
150R ES Plus
集150R S Plus 和150R E Plus兩者的功能于一體,節(jié)省空間。這個雙重用途、結構緊湊、機械泵抽真空的鍍膜系統(tǒng)標配有濺射插入頭和碳絲蒸發(fā)插入頭 – 可提供無與倫比的多用途鍍膜。 
此外,輝光放電選項也是可用的(僅150R S Plus和150R ES Plus版本),它可實現(xiàn)樣品表面改性(如疏水表面改為親水表面)。 
快速簡便:快速、易更換的鍍膜插入頭,能在同一個緊湊設計中實現(xiàn)金屬濺射、碳蒸鍍和輝光放電三者之間的快速轉換。
采用全自動觸摸屏控制,可快速輸入數(shù)據(jù)。與鍍膜處理方法及鍍膜材料相適配的鍍膜參數(shù)方案可通過觸摸按鍵實現(xiàn)預設并儲存。自動放氣控制功能確保了濺射期間的真空狀態(tài),可提供良好的一致性和可重復性。 
易使用:智能識別系統(tǒng)可自動探測安裝了何種類型的鍍膜插入頭,以便立即運行相應的鍍膜方案??纱鎯Χ鄠€用戶自定義的鍍膜方案 – 這對于需更改鍍膜參數(shù)實現(xiàn)不同應用的多用戶實驗室非常理想。多種樣品臺組件適用于各種尺寸和類型的樣品;所有樣品臺都帶有快速、易更換及落入式設計的特點。 
功能強大、可重復鍍膜及高可靠性:可預編程的鍍膜參數(shù)及方案能確保一致且可重復的結果。需要沉積厚膜時,本系統(tǒng)提供長達60分鐘且無需破真空的濺射時間。設計*的碳蒸鍍插入頭操作簡單,具有對蒸發(fā)電流參數(shù)的控制,確保了SEM應用中一致的和可重復的碳沉積。可選的膜厚監(jiān)控附件用于可重復的膜厚控制。 
適配性強且用途廣:濺射、碳蒸鍍、輝光放電插入頭及多種可選件,使Q150R對于多用戶實驗室應用非常理想??蔀R射一系列不氧化金屬,如金、銀、鉑和鈀。碳絲蒸鍍插入頭處理樣品速度非??臁R部蛇x用碳棒蒸發(fā)。還可應用于金屬薄膜研究及電極的應用。
EMS 150R S Plus– 緊湊型機械泵濺射儀,適合非氧化金屬
EMS 150R E Plus– 緊湊型機械泵鍍碳儀
EMS 150R ES Plus–集成了離子濺射和碳蒸鍍兩種沉積功能的緊湊型機械泵鍍膜儀
新款改進
● 觸摸屏更換成便于操作的電容觸摸屏
固件更新,新版操作界面類似安卓系統(tǒng),便于客戶上手
● 新的彩色LED可視狀態(tài)指示燈
● USB接口可以用于固件更新,并可將鍍膜方案文件備份/復制到USB存儲設備
● 可以通過USB端口以.csv格式導出過程日志文件,以便統(tǒng)計分析
技術參數(shù)
儀器尺寸 585mm W x 470mm D x 410mm H (打開鍍膜頭時總高 650mm)
重量 28.4kg
包裝尺寸 725mm W x 660mm D x 680mm H (36.8kg)
工作腔 硼硅酸鹽玻璃,152mm ? (內(nèi)) x 127mm H
安全鐘罩 PET材質(zhì)
顯示 145mm 320 x 240 彩色圖形TFT (Thin Film Transistor)顯示
用戶界面 直觀全圖形界面,觸摸屏控制
濺射頭 標配 57mm ?、0.1mm厚金靶(Q150R S,Q150R ES)
樣品臺 50mm ?旋轉樣品臺,帶6個15mm、10mm、6.5mm或1/8”釘形樣品座孔,旋轉速度8-20 rpm
真空
機械泵 Edwards RV3 50L/s雙程機械泵
真空測量 標配Pirani規(guī)
極限真空 2 x 10-2mbar
工作真空 3 x 10-2 mbar與5 x 10-1mbar之間
操作過程
濺射 0-80mA,濺射時間60 min
碳蒸鍍 電流脈沖:碳繩,1-60 A;1.4mm ?碳棒,1-90 A
輝光放電 0-80mA,DC+及DC-模式
其它
工作氣體 Ar氣,99.999%,N2為排放氣體(選件)
電源 90-250V ~ 50/60 Hz 1400 VA
認證 CE
15700106413
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