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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

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  • 公司名稱深圳沃飛科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/10/28 17:57:13
  • 訪問次數(shù)597
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深圳沃飛科技有限公司成立于2011年,公司注冊資金2180萬,是一家專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng) 工程:電子特氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體(液體)系統(tǒng)、高純氣 體及特殊工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng),提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、 系統(tǒng)設(shè)計(jì)、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項(xiàng)目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配 套產(chǎn)品于—體的;榮獲“國家”認(rèn)定并取得證書。工程項(xiàng)目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高 科技行業(yè);為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案與全國各大院校科研所合作研發(fā)的多個(gè) 國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目,并取得了可喜的成績。同時(shí)公司具有國家建筑機(jī)電安裝工程專業(yè)承包資質(zhì)、GC2管道設(shè)計(jì)安裝資質(zhì),旗下有奧飛克 AFKR、Afklok&、沃飛⑧等行業(yè)品牌;公司自主研發(fā)生產(chǎn)的GC特氣柜、GR特氣架、 VMB閥門箱、VMP閥門盤、氣體混配器、氣體全/半自動(dòng)切換裝置、氣體減壓器、管件接頭、 閥門儀表等產(chǎn)品于中國大陸和26個(gè)地區(qū)和國家,并獲得了多項(xiàng)國家發(fā)明,為了追 求更好品質(zhì)并給客戶提供更高更安全的技術(shù),嚴(yán)格按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行各項(xiàng)管理。經(jīng)過多年的快速發(fā)展,公司現(xiàn)有各類專業(yè)技術(shù)人員60余人,其中:設(shè)計(jì)、研發(fā)、工程人員20 余人;管道工、電工、焊工、通風(fēng)工、設(shè)備安裝工等20余人。廠房面積2500m2,其中辦公 區(qū)域面積500m2,生產(chǎn)車間面積2000m2;旗下子公司有西安辦事處(負(fù)責(zé)華西業(yè)務(wù)),武漢 子公司(負(fù)責(zé)華中業(yè)務(wù))以及香港子公司(負(fù)責(zé)海外進(jìn)出口貿(mào)易)。
燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。
燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置 產(chǎn)品信息

燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

一.主要特點(diǎn)

1. 獨(dú)立燃燒方式,燃燒之火焰渦流:可燃性毒性氣體從低濃度至99%濃度均可用高溫處理;

2. SiH4與NF3、NO2同時(shí)燃燒:SiH4與NF3、NO2可以同時(shí)于燃燒室中一起 燃燒;

3. 基本功能之安全設(shè)計(jì):異常情況發(fā)生時(shí),診斷機(jī)能會(huì)自動(dòng)安全處理;

4. 使用刮刀方式,粉塵處理容易:燃燒室內(nèi)部之附著粉塵,可使用獨(dú)立之刮刀容易且確實(shí)地清除;

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式:燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式;

6. 保養(yǎng)簡單:保養(yǎng)可在極短的時(shí)間內(nèi)完成,費(fèi)用也低廉;

7. 高信賴性:構(gòu)造簡單且零件數(shù)少,值得高度信賴。

二.燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類

可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣,主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三.燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理原理

1. 冷卻空氣之一部份在燃燒室內(nèi)形成火焰渦流,制程氣體會(huì)卷入燃燒;

2. Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體,破壞其氣泡產(chǎn)生;

3. 冷卻空氣在機(jī)臺(tái)內(nèi)部循環(huán),燃燒室外部使用空氣冷卻。并可使排氣溫度冷卻下降,而且可將燃燒后之氧化物排出等多樣功能;

4. 熱電對之安全裝置,可監(jiān)視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導(dǎo)入管溫度。另外Photo sensor可監(jiān)視熄火,差壓計(jì)可檢視排氣風(fēng)量。

關(guān)鍵詞:尾氣處理裝置
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