真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。
波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑(口徑在10毫米以下)的截止閥關(guān)閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運(yùn)動(dòng)的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對(duì)于大通徑來說的?？捎玫倪€有球 形旋塞閥(球閥)、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因?yàn)樾y需要用油潤滑，使油汽可能進(jìn)入真空系統(tǒng)，而這是不允許的。真空閥門既可用現(xiàn)場 手控和遙控，也可用電動(dòng)、電磁傳動(dòng)(電磁閥)、氣動(dòng)和液動(dòng)控制。
參數(shù)定義
公稱通徑：(nominal diameter)，又稱平均外徑(mean outside diameter)，表示符號(hào)DN，就是各種管子與管路附件的通用口徑。同一公稱直徑的管子與管路附件均能相互連接，具有互換性.它不是實(shí)際意義上的管道外徑或內(nèi)徑，雖然其數(shù)值跟管道內(nèi)徑較為接近或相等，為了使管子、管件連接尺寸統(tǒng)一，采用公稱直徑(也稱公稱口徑、公稱通徑)。例如焊接鋼管按厚度可分為薄壁鋼管、普通鋼管和加厚鋼管。其公稱直徑不是外徑，也不是內(nèi)徑，而是近似普通鋼管內(nèi)徑的一個(gè)名義尺寸。每一公稱直徑，對(duì)應(yīng)一個(gè)外徑，其內(nèi)徑數(shù)值隨厚度不同而不同。公稱直徑可用公制mm表示，也可用英制in表示。管路附件也用公稱直徑表示，意義同有縫管。
2.公稱壓力：(Nominal pressure)，表示符號(hào)PN，在一定溫度下應(yīng)用時(shí)允許的工作壓力。對(duì)碳鋼閥體的控制閥，指200℃以下應(yīng)用時(shí)允許的工作壓力;對(duì)鑄鐵閥體，指120℃以下應(yīng)用時(shí)允許的工作壓力;對(duì)不銹鋼閥體的控制閥，指250℃以下應(yīng)用時(shí)允許的工作壓力。當(dāng)工作溫度升高時(shí)，閥體的耐壓會(huì)降低。例如，公稱壓力為6.4MPa(PN64)的碳鋼控制閥，用于300℃時(shí)的耐壓為5.2MPa，用400℃時(shí)的耐壓為4.1MPa，用于450℃時(shí)的耐壓為2.9MPa。因此，控制閥公稱壓力的確定不僅要根據(jù)工作壓力，還需根據(jù)工作溫度和材質(zhì)特性，而不僅僅只需滿足公稱壓力大于工作壓力。
作用
1.開關(guān)氣路，當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉，閥2打開時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ對(duì)容器I抽真空，氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉，閥4打開時(shí)，機(jī)械泵可單獨(dú)對(duì)擴(kuò)散泵抽真空;當(dāng)閥1和閥4同時(shí)打開時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時(shí)工作，對(duì)容器進(jìn)行抽空，此時(shí)氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵?？梢姡y門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路，改變氣流的流經(jīng)路線。
2.控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大小;關(guān)閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個(gè)一定體積的小洞，當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時(shí)，小洞中就可充滿高壓氣體;當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時(shí)，就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動(dòng)方式、材料和用途進(jìn)行分類。
用途
電磁真空帶充氣閥與電磁真空壓差閥是專門用于防止機(jī)械真空泵返油的真空閥，安裝于機(jī)械真空泵的進(jìn)氣口，并與泵同步開啟和關(guān)閉。一般不能用到其它地方，也就是說不能用于真空系統(tǒng)中作放氣之用。選用尼威電磁真空壓差閥的優(yōu)點(diǎn)是耗電量很小，節(jié)省能源;DN≤50的閥體材質(zhì)為鋁合金，重量輕，體積小，閥板關(guān)閉速度快。
擋板閥用在真空管道中角通和三通的地方。驅(qū)動(dòng)方式為手、氣、電磁、電動(dòng)由用戶決定。其中GDC-J型電磁高真空擋板閥為金屬波紋管密封，其應(yīng)用范圍較廣,也可當(dāng)充氣閥用;安裝位置可任意,可反頂一個(gè)大氣壓,并有反饋信號(hào)輸出。
插板閥用在真空度要求高或管道尺寸要求高的場合。全通導(dǎo)、閥門漏率為10-7Pa.L/S，雙向密封。驅(qū)動(dòng)方式手、氣、電動(dòng)由用戶決定。氣動(dòng)和電動(dòng)均帶信號(hào)反饋裝置。
隔膜閥與球閥為直通式，并能用在正壓和真空并存的場合。驅(qū)動(dòng)方式手、氣、電動(dòng)由用戶決定。
蝶閥為直通形式，手、氣、電三種驅(qū)動(dòng)方式由用戶決定。手動(dòng)蝶閥開啟角度任意可調(diào);智能型的氣動(dòng)和電動(dòng)蝶閥其開啟角度也任意可調(diào)。
閥門的使用條件：
1.介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
2.介質(zhì)溫度由使用橡膠的溫度所決定。
