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GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京格微儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/11/5 14:53:41
  • 訪問次數(shù)288
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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北京格微儀器有限公司長期致力于打造以用戶體驗(yàn)為中心的材料表征領(lǐng)域、材料表面改性等儀器設(shè)備研發(fā)制造,公司總部位于北京海淀中關(guān)村,有多名多年從事真空技術(shù)、電子光學(xué)、離子光學(xué)、表面物理、材料制備等技術(shù)人員聯(lián)合發(fā)起,團(tuán)隊(duì)全部為碩士以上學(xué)歷或高級職稱,具備專業(yè)的表面分析、結(jié)構(gòu)分析、原位分析等應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),在科研、產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域,沉浸多年,具備獨(dú)立設(shè)計(jì)、項(xiàng)目承擔(dān)、生產(chǎn)制造等綜合能力。當(dāng)前聚焦于具有自主知識產(chǎn)權(quán)并具備國際競爭力的電子顯微鏡樣品制備設(shè)備,并在高校院所和產(chǎn)業(yè)單位得到青睞。

描述全自動(dòng)知識產(chǎn)品沒有熱損傷
GVC-2000T高真空磁控離子濺射儀 產(chǎn)品信息
描述

全自動(dòng)知識產(chǎn)品

沒有熱損傷,效率更高,顆粒度更細(xì),更適合高分辨電鏡

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 高分辨掃描電鏡樣品制備(實(shí)際放大倍數(shù)≥100K)
  • 電極制備-可制備各種金屬電極、ITO電極

設(shè)備配置與技術(shù)參數(shù)

名稱&型號 高真空磁控離子濺射儀GVC-2000T
真空系統(tǒng) 渦輪分子泵(進(jìn)口 ):德國萊寶90i (單磁懸浮分子泵,抽速為90L/s)
旋片式真空泵:浙江飛越VRD-4 (抽速為 1 .1L/s)
真空測量 全量程復(fù)合真空規(guī)(進(jìn)口):1.0E5Pa-1E-4Pa
系統(tǒng)極限真空 ≤5E-3Pa
濺射電源 磁控濺射電源,功率150W
可用靶材 所有金屬靶材,ITO靶材
濺射電壓 300-600V,根據(jù)選擇靶材、控制參數(shù)不同而變化
濺射電流 0-200mA連續(xù)可調(diào),步長5mA
濺射時(shí)間 0-9999s, 連續(xù)可調(diào)步長1s
操作界面 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏,分辨率800×480
操作方式 一鍵操作
抽氣節(jié)拍 <15分鐘
控制方式 只需設(shè)定濺射電流和時(shí)間即可,全自動(dòng)控制
具備預(yù)濺射擋板(預(yù)濺射時(shí)間可設(shè)定),全自動(dòng)控制
保護(hù)功能 軟硬件互鎖、防止誤操作,具備電流、真空保護(hù)等
樣品臺(tái)直徑 φ125mm,可自轉(zhuǎn),可自動(dòng)手動(dòng)控制,轉(zhuǎn)速4-40rpm可調(diào)
真空室 高硅硼玻璃,規(guī)格尺寸約φ200×130mm
電源供電 220V 50Hz 功率800W
尺寸&重量 重量 424(長) ×345(深) ×420mm(高)、 25 kg (凈重)
冷卻方式 內(nèi)部風(fēng)冷
選配 樣品臺(tái)選擇、膜厚控制、溫度監(jiān)測等

鍍膜樣品示例:

     銀.jpg   鎢.jpg   鉻.jpg

             靶材-銀                           靶材-鎢                           靶材-鉻

     鎳.jpg   釩.jpg   錫.jpg

              靶材-鎳                         靶材-釩                           靶材-錫        

     銅.jpg    鉭.jpg   鐵.jpg 

             靶材-銅                              靶材-鉭                        靶材-貼 

     鈦.jpg     鉛.jpg    鉬.jpg

               靶材-鈦                         靶材-鉛                            靶材-鉬

     鋁.jpg      鉑.jpg    金.jpg

            靶材-鋁                               靶材-鉑                               靶材-金

     鋯.jpg       鉺.jpg    ITO.jpg

              靶材-鋯                               靶材-鉺                        靶材-ITO

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