描述
- 全自動操作，簡單易用，非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等
- 濺射電流自動調(diào)整——設(shè)定濺射電流后，系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)真空度，從而達(dá)到設(shè)定的濺射電流，調(diào)整時間＜5s，波動范圍＜±5%；
無需按“實驗”鍵調(diào)整濺射電流、無需操作“進(jìn)氣閥”。
- 濺射時間自動記憶——同類樣品一次設(shè)定即可；
- 參數(shù)改變自動調(diào)整——濺射過程中可以隨時調(diào)整濺射電流和濺射時長，系統(tǒng)自動計算疊加，無需終止濺射過程；
- 工作完成自動放氣；
- 樣品臺高度調(diào)節(jié)1秒完成；
- 濺射過程可以利用曲線顯示，清晰直觀。
- 軟硬件互鎖，防誤操作，安全可靠
- 真空度高于100Pa，啟動真空保護(hù)，無法濺射；
- 濺射電流高于50mA，停止濺射過程；
- 真空泵工作時，系統(tǒng)無法進(jìn)行放氣操作；
- 鍍層均勻，導(dǎo)電性良好
