在傳統(tǒng)的直拉法生產(chǎn)單晶材料時，生產(chǎn)設(shè)備存在自動化程度低，投料量少、設(shè)備功能單元布局不合理等一系列問題，從而導致單晶生產(chǎn)中人工勞動強度大、單位產(chǎn)能與品質(zhì)低，成本高等一系列問題。隨著社會的進步，市場對新一代單晶生產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)向自動化程度高、投料量大、單位時間產(chǎn)能高、能耗低等方面。針對這些需求，爐壓自動控制技術(shù)、CCD非接觸測量技術(shù)、爐體恒溫控制技術(shù)的發(fā)展的進一步要求也是自動化；大爐體，高副室，旋板閥，水冷屏等的技術(shù)改進，是提高投料量與產(chǎn)能的必要方式。當投料量與產(chǎn)能達到一定程度時，副室的高度會進一步增加，因此坩堝托盤與提拉頭的動平衡問題會日漸突出，如何保證兩大低頻非規(guī)則運動部件的動平衡將會是一大挑戰(zhàn)。

NVT-HG型單晶爐可實現(xiàn)生長過程的全自動控制，爐壓全自動控制，采用CCD測量技術(shù)，此外還以其大裝爐量、高生產(chǎn)效率、低能量消耗，為客戶帶來額外利益。

應(yīng)用領(lǐng)域

? 直拉法晶體提純

? 直拉法多晶生長

? 直拉法單晶生長

? 目前主要用于單晶硅棒的生產(chǎn)制造

適用工藝

爐壓自動控制、CCD非接觸測量、自動旋板閥、下排氣流線型管路等

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 單臺2噸以上的月產(chǎn)能，實現(xiàn)單晶硅棒量產(chǎn)。
• 合理的爐體布局，使得爐子能耗同比下降10%。
• 大尺寸的主室為大投料量留下了空間。
• CCD系統(tǒng)保障了晶體的自動引放與等徑，為以后升級預備了空間。
• 自動旋板閥的應(yīng)用大大提高了副室的可應(yīng)用長度，自動開旋大大減少了操作人員的勞動強度。
• 下排氣的流線型設(shè)計，為硅料頁面提供穩(wěn)定的氬氣氛圍，大大提高液面與硅棒生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
• 在的漏水等情況發(fā)生時，爐蓋泄壓設(shè)計防止了爐體爆炸，將高壓泄 放。
• 自動爐壓系統(tǒng)快速調(diào)整爐壓，實現(xiàn)了爐體自動壓力恒壓，解決了人工調(diào)整爐壓的滯后性和準確性等問題。
• 工藝菜單為客戶提供了各類工藝設(shè)置儲存，客戶可以按照自主工藝自動生產(chǎn)晶體。
• 單機版數(shù)據(jù)工作站按每分鐘儲存一次的速率快速存儲數(shù)條關(guān)鍵數(shù)據(jù)，為 用戶實現(xiàn)工藝參數(shù)追溯。