原子力顯微鏡 用于半導體行業(yè)的測量
X,Y測量范圍: 20umX20um; 40umX40um; 80umX80um
Z測量范圍: 2um 4um 6um
X,Y分辨率: 0.1nm
Z分辨率: 0.01nm
原子力顯微鏡 (AFM)通過一個微小尺寸
懸臂上的精密尖頭對樣品進行表面掃描
尖頭和樣品表面原子間的相互作用力會使
懸臂位置發(fā)生輕微偏離,接著被壓阻
元件探測到該變化,從而被測量,基于
這個影響, AFM 可以高分辨率地測量
表面形貌及粗糙度,屬于無損測量
AFM 可以使用不同的操作模式,因此可
以用來研究更多的性能, 比如樣品的靜電
力、磁力或者彈力。
特色:
測量性能
高分辨率表面形貌測量
尖頭自動靠近被測樣品表面
樣品表面取樣通過壓阻感應元件
接觸測量模式、非接觸測量模式
靜電力和磁力特性的測量
measurement of electrical and magnetic properties,
側力及彈力測量 lateral forces and elasticity*1
液態(tài)測量measurement in liquids*2
更多操作模式可選
*1 contact mode in basic version, additional modes upon request
*2 optional
Atomic Force Microscopy
Surface Characterization表面特性
Very High Resolutions分辨率
典型應用:
微型工業(yè)技術的質量保證
納米亞納米級粗糙度測量
硅片及光學器件表面測量 range
生物標本表面特征
納米結構測量
醫(yī)學樣品表面特征研究medical samples,
e.g. protheses, catheters or stents
應用于材料科學中檢測橡皮圈, 磁性工件等
AFM measuring head 測量頭
control unit 控制器件;傳感器安裝在電動臺
sensor mount with motor-driven z-stage
software, operating manual 測量軟件操作手冊