本設(shè)備通過對(duì)真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動(dòng)控制,以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點(diǎn)保護(hù)等功能。使設(shè)備的安全性、重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。
產(chǎn)品主要性能指標(biāo):
型號(hào) | RIE-24000 |
真空系統(tǒng) | 進(jìn)樣室:機(jī)械泵系統(tǒng);刻蝕室:分子泵機(jī)組 |
樣品尺寸 | 500×400mm |
刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
自動(dòng)化程度 | 真空系統(tǒng)、機(jī)械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動(dòng)控制。 |
人機(jī)界面 | Windows環(huán)境、觸摸屏操作 |
操作方式 | 全自動(dòng)方式、非全自動(dòng)方式 |
配套件選配 | 可選擇進(jìn)口件或國(guó)產(chǎn)件 |
送/取樣片方式 | 機(jī)械手自動(dòng)送/取片 |