設(shè)備特點
1、激光蝕刻為干式蝕刻,加工制程簡單,所有加工均由軟件自動控制,產(chǎn)品一致性高,良率高達99%。
5、激光蝕刻機5萬小時無耗材,免維修,使用成本低,替代黃光制程。
應(yīng)用行業(yè)
1.電阻式、電容式觸摸屏銀漿線路蝕刻、修復(fù);
2.ITO及各類金屬導(dǎo)電膜線路激光蝕刻;
3.PCB行業(yè)薄膜電路光刻掩膜板激光蝕刻成型;
4.太陽能光伏硅基板薄膜電路蝕刻。
技術(shù)參數(shù)
激光器 | 光纖激光器 | 紫外激光器 |
激光波長 | 1064nm | 532nm |
激光功率 | 10/20W | 10W |
聚焦光斑 | ≤0.02mm | |
激光頻率調(diào)節(jié)范圍 | 20K-100KHz | |
刻蝕線寬 | 20μm | |
刻蝕速度 | 4000mm/s(視材料、參數(shù)而定) | |
加工范圍 | 500mmX500mm(可根據(jù)客戶要求定制) | |
單次幅面 | 140mmX140mm (可選配) | |
功率消耗 | <2KW | |
CCD自動定位精度 | ±2μm | |
直線電機工作臺定位精度 | ±2μm | |
直線電機工作臺重復(fù)精度 | ±1um | |
設(shè)備尺寸 | 1650mmL×1300mmW×1670mmH | |
設(shè)備重量 | 2000kg |
鋁薄膜激光刻蝕 鍍金玻璃激光刻蝕
ITO激光刻蝕 銅薄膜激光刻蝕
銀漿激光刻蝕 FTO激光刻蝕