捷歐路JEOL JEM-ARM300F GRAND ARM 透射電子顯微鏡配備了JEOL自主研發(fā)的球差校正器,加速電壓可達(dá)300kV,是一款原子級分辨率電子顯微鏡。實(shí)現(xiàn)了高的STEM-HAADF像分辨率。采用JEOL自主研發(fā)的球差校正器,掃描透射像(STEM像)的保證分辨率可達(dá)63pm(300kV,超高分辨率極靴、使用STEM球差校正器時(shí))。ETA校正器(Expanding trajectory aberration corrector)是JEOL研發(fā)的擴(kuò)展軌道型12極球差校正器??梢栽谟脩衄F(xiàn)場加裝STEM球差校正器及TEM球差校正器。標(biāo)配了全新設(shè)計(jì)的冷場發(fā)射電子槍,低能散、高亮度電子束能提供高分辨率觀察和分析。為了支持用戶廣泛的需求,研發(fā)了兩種各具特點(diǎn)的物鏡極靴。能安裝超大立體角EDS(能譜儀)、EELS(電子能量損失譜儀)、背散射電子檢測器及四種STEM觀察檢測器。標(biāo)配300kV和80kV下的球差校正數(shù)據(jù),可選的加速電壓范圍從40KV?300kV,使用范圍極廣。新的排氣系統(tǒng)達(dá)到了的真空度,在原子尺度的圖像觀察和分析中,限度地減輕了對樣品的污染和損傷。整體穩(wěn)定性高、直徑330mm的鏡筒增加了機(jī)械剛度, 在JEM-ARM200F高度穩(wěn)定的技術(shù)基礎(chǔ)之上,把電氣穩(wěn)定性和對環(huán)境的抗力提高到新高度。
分辨率 | 300 kV,80 kV | |
物鏡種類※1 | UHR極靴 | HR極靴 |
STEM分辨率(300kV) 使用STEM校正器 | 0.063nm | 0.082nm |
TEM分辨率(300 kV) | 線分辨率0.05nm | 線分辨率0.06nm |
使用TEM校正器 | 非線性信息分辨極限0.06nm | 非線性信息分辨極限0.08nm |
線性信息分辨極限0.09nm | 線性信息分辨極限0.12nm |
關(guān)鍵詞: