1.
2. 生產能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,具有儲片緩存能力
3. 機械臂強度可靠,能精確平穩(wěn)快速運動
4. 傳動部件速度具有從一個傳動部分到另一個傳動部分的協(xié)調能力,可調性強
5. 各獨立硬件系統(tǒng),軟件上能實現獨立控制
6. 單軸機械臂運輸硅片
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2. 生產能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,具有儲片緩存能力
3. 機械臂強度可靠,能精確平穩(wěn)快速運動
4. 傳動部件速度具有從一個傳動部分到另一個傳動部分的協(xié)調能力,可調性強
5. 各獨立硬件系統(tǒng),軟件上能實現獨立控制
6. 單軸機械臂運輸硅片
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