江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100的方案介紹：
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡，通過(guò)非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測(cè)量。分辨率達(dá)10nm，可以方便快捷地獲取影像，同時(shí)配備豐富的測(cè)量功能。
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。
由于采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開(kāi)創(chuàng)的I-Z 曲線（請(qǐng)參閱第23 頁(yè)），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。
適用于透明層
多層模式
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。
觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹(shù)脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
LEXT 專用物鏡
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100技術(shù)規(guī)格：
| 主機(jī) | |||
| LSM 部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：405 nm 半導(dǎo)體激光 檢出系統(tǒng)：光電倍增管 | |
| 總倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 變焦 | 光學(xué)變焦1x ～ 8x | ||
| 測(cè)量 | 平面測(cè)量 | 重復(fù)性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正確性 | 測(cè)量值的±2%以內(nèi) | ||
| 高度測(cè)量 | 方式 | 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 內(nèi)置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移動(dòng)分辨率 | 10 nm | ||
| 顯示分辨率 | 1 nm | ||
| 重復(fù)性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正確性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝測(cè)量長(zhǎng)度μm） | ||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢查系統(tǒng) | 光源：白色LED， 檢查系統(tǒng)：1/1.8 英寸200 萬(wàn)像素單片CCD | |
| 變焦 | 數(shù)碼變焦1x ～ 8x | ||
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 6 孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 | ||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 內(nèi)置偏振光片單元 | ||
| 物鏡 | 明視場(chǎng)平面半消色差透鏡5x、10x LEXT 專用平面復(fù)消色差透鏡20x、50x、100x | ||
| Z 對(duì)焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 載物臺(tái) | 100×100 mm（電動(dòng)載物臺(tái)）， 選件: 300×300 mm（電動(dòng)載物臺(tái)） | ||
此設(shè)備為專為在工業(yè)環(huán)境下實(shí)施檢測(cè)設(shè)計(jì)的A 類設(shè)備。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會(huì)干擾其他設(shè)備。
| 物鏡 | ||||
| 型號(hào) | 倍率 | 視場(chǎng) | 工作距離（WD） | 數(shù)值孔徑（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |
高度測(cè)量
可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。
輪廓測(cè)量也同樣可用
表面粗糙度測(cè)量
可以測(cè)量線粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。
面積／體積測(cè)量
根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測(cè)量其上部或下部的體積。
粒子測(cè)量 (選購(gòu)件)
可以通過(guò)分離功能使粒子自動(dòng)分離，設(shè)置閾值，根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。
幾何測(cè)量
可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量任意區(qū)域的面積。
膜厚測(cè)量 (選購(gòu)件)
可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置，測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。
自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購(gòu)件)
可以自動(dòng)尋邊，測(cè)量線寬和圓，減少人為的測(cè)量誤差。
