等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的
5L等離子清洗機(jī) 電容耦合特點(diǎn)：
腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。
5L等離子清洗機(jī)電容耦合技術(shù)參數(shù)：
| 主要部件 | 指標(biāo)名稱 | 參數(shù)指標(biāo) |
| 清洗倉體 | 清洗倉材質(zhì) | SS304 |
| 清洗倉尺寸 | 200x160x240mm | |
| 耦合方式 | 電容耦合 | |
| 射 頻 電 源 | 電源特性 | 該電源為全固態(tài)射頻電源，采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件，使產(chǎn)品的可靠性得以保證。 |
| 電源優(yōu)勢 | ●可長時(shí)間正常運(yùn)行 ● 電源效率高、發(fā)熱少 | |
| 射頻功率 | 0~300W連續(xù)可調(diào) | |
| 信號(hào)頻率 | 13.56MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | ≤100W | |
| 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | |
| 射頻接頭 | N型頭 | |
| 整機(jī)效率 | ≥75% | |
| 諧波分量 | ≤-50 dBc | |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 | |
| 氣 體 測 量 | 測量部件 | 兩路質(zhì)量流量計(jì) Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品 |
| 氣體通道 | 兩通道 | |
| A通道量程 | 10～100ml | |
| B通道量程 | 16～160ml | |
| 真 空 獲 取 | 真空測量 | 數(shù)字真空計(jì)（電阻規(guī)） |
| 真空抽取 | 雙極旋片泵 | |
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 50Hz時(shí)為：1440；60Hz時(shí)為：1720。 | |
| 抽氣速率 | 50Hz時(shí)為：240L/Min；60Hz時(shí)為：288L/Min。 | |
| 真空量程 | 0.1Pa～10000Pa | |
| 極限真空 | 0.5Pa | |
| 電機(jī)噪音 | ≤56dB | |
| 管道接口 | 進(jìn)氣口：KF16;排氣口KF16. | |
| 連接管道 | KF16真空波紋管 | |
| 真空閥門 | KF16球閥 | |
| 電機(jī)功率 | 400W | |
| 其 它 | 供電電源 | AC220V 50/60Hz |
| 整機(jī)功率 | 800W | |
| 使用溫度 | -10℃ -- 40℃ | |
| 工作真空 | ≤40Pa | |
| 整機(jī)尺寸 | 600mmX650mmX560mm | |
| 整機(jī)重量 | 80kg（含包裝） | |
