JSM-7900F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡
JEOL新一代場發(fā)射掃描電子顯微鏡的旗艦機型。 它繼承了上一代廣獲好評的性能如的空間分辨率、高穩(wěn)定性、多種功能等的同時，操作性能極大簡單化。該設(shè)備不依賴操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。
產(chǎn)品規(guī)格：
| 分辨率 | 1.0 nm (0.5 kV) |
| 倍率 | ×10 ～ ×1,000,000 |
| 加速電壓 | 0.01 ～ 30 kV |
| 探針電流 | 數(shù) pA ～ 500 nA |
| 檢測器（標(biāo)配） | 高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED) |
| 電子槍 | 浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍 |
| 光闌角控制鏡 | 內(nèi)置 |
| 物鏡 | 超級混合式物鏡/SHL |
| 自動功能 | 自動聚焦、自動消像散、自動調(diào)節(jié)亮度、自動調(diào)節(jié)襯度 |
| 大景深模式(LDF) | 內(nèi)置 |
| 樣品臺 | 全對中測角樣品臺 |
| 樣品移動 | X:70mm Y:50mm Z:2 ～ 41mm 傾斜軸:-5 ～ 70° 旋轉(zhuǎn):360° |
| 馬達(dá)驅(qū)動 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動 |
| 樣品交換室 | 直徑: 100mm 高度: 40mm |
| 抽真空系統(tǒng) | SIP、TMP、RP |
主要特點：
◇ Neo Engine（New Electron Optical Engine）
新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結(jié)晶。 它綜合了透鏡控制系統(tǒng)和自動化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀察精度。 無論是誰都可以很簡便地發(fā)揮出儀器原本的功能。
① 提高了自動功能
樣品 : 用CP 制備的礦物截面（樹脂包埋） 入射電壓 : 5 kV，檢測器 : RBED，觀察倍率 : ×100,000
不僅提高了自動功能的精度，而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。
② 提高了倍率的精度
樣品 : 測長用的樣品（MRS5） 入射電壓 : 10 kV， 觀察倍率: ×50,000
大幅度地提高了倍率的精度，而且實現(xiàn)了高精度測長。
③ 能量過濾器更加易用
樣品 : 名片 入射電壓 : 1.5 kV， 檢測器 : UED， 觀察倍率 : ×3,500
即使大幅度改變能量過濾器的設(shè)定值，視野或聚焦位置基本不會偏離。
◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™ Super High resolution Stage bias mode)
GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達(dá)5 kV的偏壓。 因此，使用GBSH模式不需要使用專用的樣品桿就可以無縫過渡到其他模式。
※GENTLEBEAM™ 通過給樣品施加偏壓，起到了對入射電子減速，對出射電子加速的作用。
◇ 新型背散射電子檢測器 ※ 選配件
采用新開發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測器，可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀察。 靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多，特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。
舊機型 新機型
樣品 : Cu的截面 入射電壓 : 3 kV 觀察倍率 : ×10,000 WD： 4.5 mm
◇ 新型外觀設(shè)計
外觀設(shè)計緊湊，大大節(jié)省了安裝空間，可以支持多種安裝環(huán)境。
◇ 新的樣品交換方式
采用新設(shè)計的樣品交換系統(tǒng)（load lock），操作簡單了，不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。
◇ SMILENAVI
SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時間內(nèi)學(xué)會基礎(chǔ)操作而開發(fā)的操作導(dǎo)航系統(tǒng)。 操作人員按照流程，只要點擊圖標(biāo)，SEM操作畫面就會聯(lián)動，依照提示引導(dǎo)即可操作。
① 強調(diào)操作按鈕
只要將鼠標(biāo)光標(biāo)挪到SMILENAVI的指南鍵上，SEM的GUI上的相應(yīng)鍵會出現(xiàn)方框。
在SMILENAVI指南里點擊按鍵后，SEM的GUI會變成灰色來強調(diào)相應(yīng)鍵。
② 顯示照片
在SMILENAVI的指南里點擊按鍵后，會顯示該按鍵位置的照片。
③ 顯示操作順序的視頻
SMILENAVI的指南里有介紹操作順序的視頻。
繼承了舊機型的高性能
◇ 浸沒式肖特基 Plus 電子槍
浸沒式肖特基Plus FEG 通過與電子槍和低像差聚光鏡的組合，性能進(jìn)一步得到改善，達(dá)到了更高的亮度。 能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子，即使在低加速電壓下，也能獲得數(shù)pA ～數(shù)10 nA 的探針電流，不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀察和快速元素面分布及EBSD 分析。
◇ ACL（光闌角控制鏡）
ACL（光闌角控制鏡）位于物鏡的上方，自動優(yōu)化整個電流范圍內(nèi)的物鏡光闌角。 因此，即使改變探針電流量，也能調(diào)整入射電子的擴散，始終可以獲取最小的電子束斑。不管是高分辨觀察還是X 射線分析，對探針電流的大幅度變化都能輕松對應(yīng)。
◇ 超級混合式物鏡 / SHL
JSM-7900F 標(biāo)配了JEOL 開發(fā)的電磁場疊加物鏡 —“超級混合式物鏡（SHL）”，對任何樣品包括磁性和絕緣材料都能進(jìn)行超高空間分辨率觀察和分析。
◇ 檢測器系統(tǒng)
能夠同步采集多達(dá)4 種檢測器的信號。
標(biāo)配低位檢測器（LED）和高位檢測器（UED）。 此外，還可以安裝選配件：可插拔式背散射電子檢測器（RBED）和高位二次電子檢測器（USD）。
◇ 高空間分辨率觀察
利用GBSH，即使在極低的加速電壓下也能進(jìn)行高分辨率觀察。
GBSH下，高空間分辨率觀察應(yīng)用
● 氧化物納米材料
