江南儀器為您提供奧林巴斯顯微鏡MX61A的案介紹:
奧林巴斯顯微鏡MX61A是一款專門設(shè)計(jì)的大尺寸全智能半導(dǎo)體顯微鏡,可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢(shì)進(jìn)行操作,有利于操作人員在長(zhǎng)時(shí)間的工作中順利進(jìn)行檢測(cè),保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)(UIS2),特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能,從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫化,實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn),暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍(與本公司原有產(chǎn)品比較)。

MX61A裝載了在對(duì)焦精度、對(duì)焦速度上性能*的動(dòng)態(tài)AF。新開發(fā)的多點(diǎn)方式的傳感器的采用,大幅度的提高了對(duì)焦時(shí)的穩(wěn)定性。在可視、深紫外線的反射光觀察中,實(shí)現(xiàn)了追蹤觀察位置的實(shí)時(shí)對(duì)焦。

在深紫外線到可視、近紅外線觀察中發(fā)揮高性能的UIS2物鏡系列產(chǎn)品,與各種觀察單元組合,可以在一臺(tái)顯微鏡上進(jìn)行明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉、熒光、近紅外線、深紫外線等觀察。 觀察方法的切換非常簡(jiǎn)單,只要從明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、選件鏡子單元三個(gè)位置選擇就可以。


符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有關(guān)安全的基準(zhǔn)),S8-0705(有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn))和CE標(biāo)識(shí)(歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證)等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和安全對(duì)策等,高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
配備了觸摸屏操作的手控開關(guān),可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法,就能得到基于登錄條件的最合適的觀察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。
全自動(dòng)半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61A 規(guī)格 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正) | ||
機(jī)身 | 觀察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射 | ||
照明裝置 | 機(jī)身一體型(明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)+1選件) | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | - | ||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 電動(dòng) | |
行程 | 25.4 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
樣本高度 | 24 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |
明暗視場(chǎng)微分干涉5孔 | |||
明暗視場(chǎng)微分干涉6孔 | |||
明暗視場(chǎng)微分干涉中心補(bǔ)正5孔 | |||
手動(dòng)式 | - | ||
載物臺(tái) | 行程 | 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm | |
觀察筒 | 廣角視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)22) | 倒置 | - |
正像 | - | ||
超寬視場(chǎng)(視場(chǎng)數(shù)26.5) | 倒置 | - | |
正像 | 傾斜三目觀察筒 | ||
附件單元 | 自動(dòng)調(diào)焦/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 711(W)×853(D)×552(H)mm(標(biāo)準(zhǔn)組合) | ||
重量 | 56 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合) |