| 指標(biāo)特點 | Elli-SE | μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer |
| 測量常數(shù) | 膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長λ | 膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長λ |
| 膜厚范圍 | 亞埃級-10微米（取決于膜層） | 亞埃級-10微米（取決于膜層） |
| 波長范圍 |
240 ~ 1050 nm （紫外線） or 380 ~ 1050 nm 光譜范圍選項：Duv深紫外:193nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
| 240 ~ 1050 nm（紫外線） 光譜范圍選項：Duv深紫外:190nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm
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| 測量能力 |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每點（取決于膜層） |
正常模式（~10 sec） 快速（1~3 sec）每點（取決于膜層）
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| 束斑直徑-尺寸 | 1.5 mm (可選 100μm, 50 μm, 20 μm) | 10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm |
| 入射角 | 45°~90°（自動變換角度） | 45°~90°（自動變換角度） |
| 膜層數(shù)量 | 多至10層（取決于膜層） | 多至10層（取決于膜層） |
| 重復(fù)性 | 10次測量在(3σ) ±0.3 Å | 10次測量在(3σ) ±0.3 Å |
| 色散關(guān)系 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM 等 | Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM等 |
| 提供功能 | 折射率、消光系數(shù)和光帶隙 薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫 用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴展庫 | 折射率、消光系數(shù)和光帶隙 薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫 用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴展庫 |
| 應(yīng)用 | 介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池 | 介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池 |
北京朗銘潤德光電科技有限公司是一家在半導(dǎo)體微電子、高精密光學(xué)鍍膜領(lǐng)域，光伏、光熱、鋰電池等新能源領(lǐng)域以及窗膜、汽車膜、柔性電路板等行業(yè)提供專業(yè)相關(guān)工藝設(shè)備的代理公司。從2006年起與德國微電子設(shè)備專業(yè)廠家FHR公司開始合作，并于2008年成為其中國區(qū)代理機構(gòu)。通過我們的合作，使 FHR的產(chǎn)品逐漸進(jìn)入中國，并成為國內(nèi)鍍膜設(shè)備的供貨商。我們于 2010 年在北京石景山中關(guān)村高科技園區(qū)成立了專業(yè)代理國外微電子半導(dǎo)體及相關(guān)設(shè)備的北京朗銘潤德光電科技有限公司，并與*供貨商建立合作關(guān)系，為公司全面國際化運轉(zhuǎn)及操作奠定了良好開端。我們堅持品味與個性、規(guī)范與強大、敬業(yè)與專注的理念，以國際化的視野、*和高品位的產(chǎn)品、高尚的商德、高水準(zhǔn)的服務(wù)取信于用戶，取信于市場。憑借良好的現(xiàn)代企業(yè)運行機制、“應(yīng)用是驅(qū)動”和“以人為本”的發(fā)展理念，造就了一支富有激情、技術(shù)過硬的團隊，為公司的高速發(fā)展打下了堅實的基礎(chǔ)。北京朗銘潤德光電科技有限公司在向客戶提供產(chǎn)品的同時，向客戶提供服務(wù)；為客戶著想，與客戶共求發(fā)展，共創(chuàng)雙贏： 朗銘值得您的信賴與期待！
橢偏儀 產(chǎn)品信息
關(guān)鍵詞：電池
