一、簡介：
無油干式機(jī)械真空泵（又簡稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。
目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
二、分類：
干式真空泵主要有下列幾種形式：
干式螺桿真空泵
無油往復(fù)真空泵
爪式真空泵
無油渦旋真空泵
三、原理：
干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
無油往復(fù)真空泵
靠活塞往復(fù)運(yùn)動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復(fù)真空泵的結(jié)構(gòu)與往復(fù)活塞壓縮機(jī)相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復(fù)真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結(jié)晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業(yè)等。
爪式真空泵
爪式真空泵由多級轉(zhuǎn)子構(gòu)成，其中每級都有2個轉(zhuǎn)子構(gòu)成，兩個轉(zhuǎn)子反方向旋轉(zhuǎn)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積變大而吸氣，當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時吸氣結(jié)束，以后泵腔變小而壓縮氣體，當(dāng)排氣口打開后泵腔排氣，排氣口關(guān)閉時則排氣完畢，如此循環(huán)工作。
無油渦旋真空泵
渦旋無油真空泵的渦旋盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤組成的一對渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級渦旋無油真空泵中，有兩個方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤，一個位于兩個渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動渦旋盤。動、靜渦旋盤相對運(yùn)動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
四、性能對比：
1）真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，極限真空均可達(dá)到1-2Pa；無油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備，極限真空低，需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。
2) 抽氣量：無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。
3）穩(wěn)定性：干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低；無油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡單，噪音較高，需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜，轉(zhuǎn)子與軸不為一體，出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配，反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。
4）特殊處理：由于化工、制藥等相關(guān)工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單，兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理，可選用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。
五、供應(yīng)
威海智德真空科技有限公司主要供應(yīng)設(shè)備：
DP系列干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、水環(huán)真空泵、大型復(fù)雜真空機(jī)組。
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DP系列干式螺桿真空泵
性能特點(diǎn)：
1、工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空。
2、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況。
3、氣體在泵內(nèi)無壓縮，適宜抽取可凝性氣體。
4、單臺泵可從大氣抽至1Pa，真空系統(tǒng)可大大簡化。
5、水溫對真空影響小，節(jié)水達(dá)90％以上,甚至可以不耗水。
6、不耗油,無滴漏。
7、旋轉(zhuǎn)部件間無摩擦,可高速運(yùn)轉(zhuǎn),整機(jī)體積小。
8、結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)方便。
9、被抽氣體直接排出泵體，不污染水，無環(huán)保壓力，氣體回收更便捷。
10、可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組。
抽速曲線：
工作原理：
干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
JZJD系列干式真空機(jī)組
結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)：
JZJD系列干式真空機(jī)組是由常規(guī)羅茨真空、干式螺桿真空泵以及閥門、機(jī)架、電器控制箱組成的，其中干式螺桿真空泵作為前級真空泵，在達(dá)到羅茨真空泵啟動壓力時，由真空規(guī)頭及壓力變送器控制羅茨真空泵的啟停。由于羅茨真空泵及干式螺桿真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)部件均不接觸，因此整機(jī)具備運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小等優(yōu)點(diǎn)。
性能特點(diǎn)：
1：JZJD系列干式真空機(jī)組抽氣范圍廣（280-4320m3/h），真空度高（極限壓力可達(dá)0.01Pa）
2：即使在高真空下依然能保持較大的抽速，滿足客戶對高真空、大抽速的要求。
3：羅茨真空泵與干式螺桿真空泵可根據(jù)抽速比，搭配各種組合方案，有效降低能源消耗，達(dá)到性價比。
機(jī)組型號意義：
雙羅茨螺桿真空機(jī)組 單羅茨螺桿真空機(jī)組
例1：JZJD1200-4.2 (ZJ1200/ ZJ300/DP430) 例2：JZJD600-5（ZJ600/DP430）
J—機(jī)組（漢字拼音ji 的個字母） J—機(jī)組（漢字拼音ji 的個字母）
ZJ—羅茨真空泵 ZJ—羅茨真空泵
D—干式螺桿真空泵（前級泵） D—干式螺桿真空泵（前級泵）
1200—主泵抽速（抽速 L/S） 600—主泵抽速（抽速L/S）
4—中間泵與主泵抽速比 5—主泵與前級泵抽速比
2—中間泵與前級泵抽速比
注：DP430為干式螺桿真空泵，抽速為120L/S
典型應(yīng)用/案例
石油、化工、生物制藥領(lǐng)域 油氣、溶劑回收
電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域 紡織、冶金等行業(yè)
石油、化工、生物制藥領(lǐng)域
比傳統(tǒng)加工工藝的真空度更高，能夠在正常工作運(yùn)轉(zhuǎn)情況下不間斷排除從泵進(jìn)氣口進(jìn)入的液體，解決了容積脫除和工作液的排除問題，可獲得最干凈的真空，實現(xiàn)中間容劑的回收。
具體應(yīng)用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、工廠普通真空。
油氣、溶劑回收
由于泵腔內(nèi)無油無水，對所抽氣體介質(zhì)無污染，因此在油氣、溶劑回收等方面擁有的優(yōu)勢
具體應(yīng)用：油氣回收、溶劑回收。
電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域
能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。
具體應(yīng)用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。
紡織、冶金等行業(yè)
在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關(guān)工藝中應(yīng)用干式真空泵，比其他類型真空泵效率更高、無污染、更節(jié)能。
具體應(yīng)用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。
