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光學(xué)輪廓儀,大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SuperViewW
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/2/8 9:04:19
  • 訪問次數(shù)490
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深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售?! ≈袌D儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)、歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具有多項(xiàng)技術(shù)和軟件知識產(chǎn)權(quán)。在微納米運(yùn)動設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了的設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案的能力?!≈袌D儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產(chǎn)業(yè)園擁有儀器設(shè)備精密加工、裝配檢測的專業(yè)生產(chǎn)制造基地,按照ISO9001、6S等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn),為客戶提供的產(chǎn)品。  中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及三十多個(gè)省、市、自治區(qū),海外市場快速成長,營銷網(wǎng)絡(luò)日逐完善?! ≈袌D儀器經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機(jī)、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計(jì)量設(shè)備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案。  目前,中圖儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計(jì)量質(zhì)量檢測機(jī)構(gòu)、汽車、航空航天、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè),部分產(chǎn)品達(dá)到水平,參與制定了多項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn),為中國儀器在精密測量、計(jì)量檢測領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)?! ∥磥?,中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)我們的力量,圖中國儀器技術(shù)之強(qiáng)大,鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器。
SuperViewW3光學(xué)輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實(shí)現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量,獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)
光學(xué)輪廓儀,大尺寸三維微觀形貌測量儀SuperViewW3 產(chǎn)品信息
SuperViewW3光學(xué)輪廓儀主要是以非接觸的掃描方式來實(shí)現(xiàn)針對樣品表面的高重復(fù)精度的3D測量,獲取樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)??蓮V泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導(dǎo)體、光學(xué)加工、3C玻璃屏、薄膜制備、微納器件、納米材料等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域,以及高校、科研院和計(jì)量機(jī)構(gòu)等研究、檢測型單位。


產(chǎn)品功能

1) 樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;
2) 自動測量功能:自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能;
3) 編程測量功能:可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動測量功能,實(shí)現(xiàn)一鍵測量;
4) 數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5) 數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。
6) 批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析;

作為大尺寸三維微觀形貌測量儀,SuperViewW3光學(xué)輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為300*300mm,真空吸附盤能檢測12寸及以下尺寸的Wafer;氣浮隔振設(shè)計(jì)&吸音材質(zhì)隔離設(shè)計(jì),能確保儀器在千級車間中能夠有效濾除地面和聲波的振動干擾,穩(wěn)定工作??蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高??蒲性核阮I(lǐng)域中。
 

半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)m?xiàng)產(chǎn)品功能

1)同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量,并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓;
2)具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能,能夠一鍵測量數(shù)十個(gè)小區(qū)域的粗糙度求取均值;
3)具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量,覆蓋從1nm~1mm的測量范圍,實(shí)現(xiàn)高精度測量;

SuperViewW3光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。
15700106413
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