
SuperViewW三維光學(xué)輪廓儀測(cè)量儀部分參數(shù)
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm
表面形貌重復(fù)性:0.1nm
臺(tái)階測(cè)量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%
【功能強(qiáng)大,參數(shù)齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測(cè)量功能全部囊括,距離、角度、直徑測(cè)量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù)。
【高重復(fù)精度,穩(wěn)定可靠】
采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性。
【操作便捷,簡單明了】
直觀的操作界面,讓您對(duì)操作流程一目了然,自動(dòng)聚焦,助您一鍵實(shí)現(xiàn)測(cè)量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能,批量測(cè)量不用愁。
【3D測(cè)量,一覽無余】
采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法,真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,輕松觀察、測(cè)量樣品的任意特征。
【廣泛應(yīng)用,貼心服務(wù)】
可測(cè)2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù)……光學(xué)3D表面輪廓儀在半導(dǎo)體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。

SuperViewW系列三維光學(xué)輪廓儀測(cè)量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng),保證測(cè)量精度高。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中,可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。