為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)
奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計(jì)，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強(qiáng)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的無(wú)縫工作流程。
高級(jí)的顯微觀察 便捷的顯微操作
用戶友好性
· 讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器
· 直觀的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置
· 快速找到焦點(diǎn)：對(duì)焦刻度標(biāo)尺
· 一致的照明：智能光強(qiáng)管理
· 方便而人性化的操作
· 可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件
· 基本測(cè)量功能
功能性
· 讓未見變?yōu)榭梢姡篗IX觀察
· 創(chuàng)建超景深圖像：EFI
· 輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝：即時(shí)MIA
· 同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)：HDR
· 可調(diào)整滿足觀察和分析的偏好要求
· 容納各類樣品
精密的光學(xué)元件
· 的光學(xué)性能：波像差控制
· 穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明
· 支持精密測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)
· 無(wú)縫拼接：圖像陰影校正
全面可定制性
· 可滿足用戶要求的各種配置
· 模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)
直觀的顯微鏡控制
顯微檢查任務(wù)常常需要用很長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測(cè)量，從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時(shí)需要投入時(shí)間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過(guò)其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能，簡(jiǎn)化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，大程度減少了人為錯(cuò)誤。
舒適且便于使用
讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡(jiǎn)單的照明器
照明器的設(shè)計(jì)大程度減少了顯微鏡操作過(guò)程中所必須的復(fù)雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換常用的觀察方法，比如從明場(chǎng)觀察到暗場(chǎng)觀察，到偏光觀察，以隨時(shí)改變不同類型的分析。此外，可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單偏光觀察的調(diào)節(jié)。
操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）
直觀的顯微鏡控制：視場(chǎng)光闌和孔徑光闌的簡(jiǎn)單設(shè)置
使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。
快速找到焦點(diǎn)：對(duì)焦刻度標(biāo)尺
機(jī)架上的對(duì)焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過(guò)目鏡查看樣品就可以大致地對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn)，從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節(jié)省了時(shí)間。
一致的照明：智能光強(qiáng)管理
在初始設(shè)定時(shí)，可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。
傳統(tǒng)的光強(qiáng)
傳統(tǒng)顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線的觀察方法后，圖像會(huì)變得更暗。
智能光強(qiáng)管理
改變放大倍率或觀察方法時(shí)，顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值。
方便而人性化的操作
人性化設(shè)計(jì)對(duì)所有用戶都至關(guān)重要。無(wú)論是單機(jī)顯微鏡用戶，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開關(guān)讓用戶能夠?qū)Ｗ⒂跇悠泛蜋z查工作本身。
用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開關(guān) 手動(dòng)控制器 曝光按鈕
可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件
BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動(dòng)保存，從而可輕松完成此后的還原設(shè)置，以及為報(bào)表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時(shí)間，又大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上。
操作步驟 | 操作者A | 操作者B |
不同的操作者使用不同的設(shè)置 |
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易于驗(yàn)證正確的設(shè)置 |
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使觀察設(shè)置保持同步 |
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盡管操作者不同，但設(shè)置相同 |
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針對(duì)各種檢查和分析任務(wù)的功能
BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對(duì)比法，比如明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用的顯微鏡檢查技術(shù)來(lái)進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對(duì)比法檢查時(shí)遇到的缺陷檢測(cè)方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項(xiàng)為用戶提供了評(píng)估樣品、文檔記錄的更多選擇。
此外，BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號(hào)更大、更重、更特殊的樣品。
MIX觀察：讓未見變?yōu)榭梢?/span>
BX3M的MIX觀察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場(chǎng)光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場(chǎng)照明，但又可為L(zhǎng)ED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。
傳統(tǒng)的
明場(chǎng)將光線直接照射在樣品上，暗場(chǎng)則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。
MIX
MIX觀察是通過(guò)一個(gè)環(huán)形LED光源來(lái)形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合。可以調(diào)節(jié)LED光源，選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無(wú)法觀察的表面上獲得的對(duì)比度并可突出表面特征。
即時(shí)MIA：輕松移動(dòng)載物臺(tái)即可進(jìn)行全景拍攝
現(xiàn)在不需要電動(dòng)載物臺(tái)，僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來(lái)生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。
一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像。
EFI：創(chuàng)建超景深圖像
奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過(guò)物鏡焦深的樣品圖像，把通過(guò)不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像。可以使用手動(dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來(lái)執(zhí)行EFI，并可創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識(shí)別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。
HDR：同時(shí)捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）使用了的圖像處理技術(shù)，能夠針對(duì)一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)效果，從而為用戶制作報(bào)告時(shí)提供專業(yè)的圖像。
借助HDR功能，同時(shí)清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
（樣品：燃油噴射器）
借助HDR功能，增強(qiáng)了對(duì)比度
（樣品：鎂切片）
測(cè)量
常規(guī)或基礎(chǔ)測(cè)量功能
通過(guò)奧林巴斯Stream軟件可以實(shí)現(xiàn)多種測(cè)量功能，從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時(shí)常常需要對(duì)圖像進(jìn)行測(cè)量。所有級(jí)別的奧林巴斯Stream 軟件都包括了交互式的測(cè)量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。
計(jì)數(shù)和測(cè)量
目標(biāo)探測(cè)和尺寸分布測(cè)量，是數(shù)碼圖像中重要的應(yīng)用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測(cè)，能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)（比如顆粒、劃痕）。
材料解決方案
奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀界面，可用于復(fù)雜的圖像分析。點(diǎn)擊按鈕即可快速、精確地執(zhí)行復(fù)雜的圖像分析任務(wù)，并且符合常用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。由于明顯減少了重復(fù)任務(wù)的處理時(shí)間，因此材料學(xué)家們可以專注于分析和研究。還能夠在任何時(shí)候方便地添加用于夾雜物和標(biāo)準(zhǔn)評(píng)級(jí)圖對(duì)比的模塊化插件。
3D測(cè)量
使用外部電動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)時(shí)，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測(cè)量，或通過(guò)單視圖進(jìn)行3D測(cè)量。
3D表面視圖（粗糙度試驗(yàn)樣品） 單視圖和3D剖面測(cè)量
容納各類樣品
可以容納更多的樣品類型和尺寸
新型150×100mm載物臺(tái)在X方向上提供了比以前的型號(hào)更大的行程。再加上其載物臺(tái)板的平板式設(shè)計(jì)，可以輕松地將大樣品，或多個(gè)樣品放置在載物臺(tái)上。載物臺(tái)板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺(tái)為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺(tái)顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間?？烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺(tái)方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。
樣品高度和重量的高適應(yīng)性
BX53MRF-S
使用選配的模塊組件可以將105mm的樣品放置在載物臺(tái)上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu)，因此顯微鏡可以容納最重6kg的總重量（樣品+載物臺(tái)）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過(guò)戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個(gè)晶圓表面。優(yōu)化了載物臺(tái)的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。
樣品尺寸大小的靈活性
BXFM
如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺(tái)上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過(guò)一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺(tái)儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢(shì)，即使其樣品在尺寸或形狀上都很。
兼容ESD：保護(hù)電子裝置，防止受到靜電放電的影響
BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。
悠久歷史的光學(xué)技術(shù)
奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測(cè)量精度。
的光學(xué)性能：波像差控制
使用顯微鏡進(jìn)行高級(jí)研究或系統(tǒng)集成時(shí)，所有物鏡的光學(xué)性能必須標(biāo)準(zhǔn)化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會(huì)降低分辨率的像差，從而獲得的數(shù)值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標(biāo)。
穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明
BX3M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無(wú)論強(qiáng)度是多少，LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長(zhǎng)壽命的照明，是材料學(xué)檢測(cè)應(yīng)用的理想工具。
通過(guò)鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng) 通過(guò)LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)
支持精密測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn)
類似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)也能夠?qū)嵤┳詣?dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)消除了校準(zhǔn)過(guò)程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測(cè)量結(jié)果。自動(dòng)校準(zhǔn)的算法采用多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的平均值來(lái)自動(dòng)計(jì)算正確的校準(zhǔn)量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗(yàn)證的可靠性。
無(wú)縫拼接：圖像陰影校正
可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正，以補(bǔ)償圖像角落四周的陰影。使用光強(qiáng)閾值設(shè)置時(shí)，陰影校正提供了更精確的分析。此外，使用MIA拼接圖像時(shí)，可以獲得更均勻的全景圖像。
1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)
左側(cè)圖片：圖像拼接時(shí)，原始圖像拼接處有陰影
右側(cè)圖片：陰影校正后，整個(gè)視野照明均勻
應(yīng)用
反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。
暗場(chǎng)觀察
暗場(chǎng)能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會(huì)反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會(huì)清晰地顯示出來(lái)。用戶甚至可以識(shí)別出極細(xì)微的劃痕，或小到8nm級(jí)別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場(chǎng)是檢測(cè)標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷，以及鏡面標(biāo)本（包括晶圓）的理想工具。
表面貼裝基板：DF
微分干涉觀察
微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù)，這種技術(shù)把明場(chǎng)觀察所不能檢測(cè)到的標(biāo)本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專門定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。
球墨鑄鐵檢測(cè)：DIC
偏光觀察
這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(zhǎng)的形態(tài)）、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。
絹云母：POL
熒光
該技術(shù)用于通過(guò)專用濾色片激發(fā)塊照明，使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長(zhǎng)的光），特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物，以及通過(guò)熒光染料檢測(cè)裂縫?？梢赃x配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱，以補(bǔ)償從可見光到近紅外光的色差。
半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物：FL
紅外光
IR觀察是非破壞性地檢查可以透過(guò)紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。
電極切片：IR
透射光觀察
對(duì)于透明樣品，比如LCD、塑料和玻璃材料，可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀察。組建一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)透射光明場(chǎng)和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。
系統(tǒng)化
模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置，以滿足用戶的各種要求。
用于材料學(xué)的配置
BX53M反射和反射/透射觀察
BX53M IR觀察
BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件，并且都配備有ESD防靜電功能。
BX53MRF-S配置圖例 BX53MTRF-S配置圖例
BX53M IR觀察
BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動(dòng)、編碼或電動(dòng)部件，并且都配備有ESD防靜電功能。IR物鏡可用于透過(guò)硅材料成像，進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測(cè)量。配備了5倍到100倍紅外（IR）物鏡，提供了從可見光波長(zhǎng)到近紅外的像差校正。對(duì)于高放大倍率的物鏡，配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差。使用一個(gè)物鏡即可獲取清晰的圖像。
物鏡 | 放大倍率 | NA | W.D.(mm) | 蓋玻片厚度（mm） | 硅厚度（mm） | 分辨率*1(μm) |
LMPLN-IR | 5X 10X | 0.1 0.3 | 23 18 | 0-0.17 0-0.17 | — — | 6.71*3 2.24*3 |
LCPLN-IR*2 | 20X 50X 100X | 0.45 0.65 0.85 | 8.3 4.5 1.2 | 0-1.2 0-1.2 0-0.7 | 0-1.2 0-1.2 0-1.0 | 1.49*3 1.03*3 0.79*3 |
*1 孔徑光闌全開時(shí)計(jì)算的分辨率
*2 到FN22，不適用于FN26.5
*3 使用1100nm波長(zhǎng)
IR物鏡 無(wú)校正環(huán) 有校正環(huán)
BX53M偏光觀察
BX53M偏光顯微鏡具有鮮明的偏光成像，是地質(zhì)學(xué)家的理想之選。比如礦物鑒定、晶體光學(xué)特性的分析和巖石薄片的鑒定等各種研究，都得益于穩(wěn)定的顯微鏡系統(tǒng)性和精密的光學(xué)系統(tǒng)。
BX53M正像鏡檢偏光配置 BX53M錐光鏡檢偏光配置
用于錐光鏡檢和正像鏡檢的勃氏鏡
采用U-CPA錐光觀察附件使錐光鏡檢和正像鏡檢之間的切換簡(jiǎn)單而快捷?？梢郧逦貙?duì)焦后焦平面的干涉圖樣。勃氏鏡的視場(chǎng)光闌使其能夠始終獲取銳利而清晰的錐光圖像。
偏光附件
無(wú)應(yīng)力光學(xué)元件
UPLFLN-P無(wú)應(yīng)力物鏡得益于奧林巴斯的設(shè)計(jì)和制造技術(shù)，將內(nèi)部應(yīng)力降到了。這就意味著更高的EF值，從而可以得到的圖像反差。
UPLFLN-P無(wú)應(yīng)力物鏡
UPLFLN-P系列 | ||
物鏡 | NA | W.D. |
UPLFLN 4XP | 0.13 | 17.0 mm |
UPLFLN 10XP | 0.3 | 10.0 mm |
UPLFLN 20XP | 0.5 | 2.1 mm |
UPLFLN 40XP | 0.75 | 0.51 mm |
UPLFLN 100XOP | 1.3 | 0.2 mm |
PLN-P | ||
物鏡 | NA | W.D. |
PLN 4XP | 0.1 | 18.5 mm |
ACHN-P系列 | ||
物鏡 | NA | W.D. |
ACHN 10X | 0.25 | 6.0 mm |
ACHN 20XP | 0.40 | 3.0 mm |
ACHN 40XP | 0.65 | 0.45 mm |
ACHN 100XOP | 1.25 | 0.13 mm |
種類豐富的補(bǔ)色器和波長(zhǎng)板
提供了六種不同的補(bǔ)色器，用于測(cè)量巖石和礦物薄片的雙折射。測(cè)量光程差水平范圍從0到20λ。針對(duì)更方便的測(cè)量和高圖像反差，可以使用Berek和Senarmont補(bǔ)色器，它們能在整個(gè)視場(chǎng)內(nèi)改變光程差級(jí)別。
補(bǔ)色器的測(cè)量范圍
補(bǔ)色器 | 測(cè)量范圍 | 應(yīng)用 |
厚Berek補(bǔ)色器（U-CTB） | 0-11000 nm(20_) | 高光程差級(jí)別的測(cè)量（R*>3λ），（晶體、高分子、纖維等） |
Berek補(bǔ)色器（U-CBE） | 0-1640 nm(3_) | 光程差級(jí)別的測(cè)量（晶體、高分子、活體生物等） |
Senarmont補(bǔ)色器（U-CSE） | 0-546 nm(1_) | 光程差級(jí)別的測(cè)量（晶體、活體生物等）圖像對(duì)比度的增強(qiáng)（活體生物等） |
Brace-Koehler補(bǔ)色器1/10λ（U- CBR1） | 0-55 nm(1/10_) | 低光程差級(jí)別的測(cè)量（活體生物等） |
Brace-Koehler補(bǔ)色器1/30λ（U- CBE2） | 0-20 nm(1/30_) | 低光程差級(jí)別的測(cè)量（活體生物等） |
石英楔（U-CWE2） | 500-2200 nm(4_) | 光程差級(jí)別的近似測(cè)量（晶體、高分子等） |
* R=光程差水平
對(duì)于大多數(shù)精確測(cè)量，建議補(bǔ)色器（除U-CWE2以外）與干涉濾色片45-IF546組合使用。
BXFM系統(tǒng)
BXFM適合于特殊應(yīng)用，或整合進(jìn)其它儀器中。模塊化結(jié)構(gòu)，再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置，使其可以直接用于的環(huán)境和配置。
模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)
顯微鏡機(jī)架
兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光；一種還具有透射光觀察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器，以抬升照明器，適應(yīng)更高的樣品。
■: 可用于 | 反射光 | 透射光 | 樣品高度 | |
1 | BX53MRF-S | ■ | 0-65 mm | |
2 | BX53MTRF-S | ■ | ■ | 0-35 mm |
1, 3 | BX53MRF-S + BX3M-ARMAD | ■ | 40-105 mm | |
2, 3 | BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD | ■ | ■ | 40-75 mm |
支架
兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光；一種還具有透射光觀察能力。同時(shí)配備了一個(gè)適配器，以抬升照明器，適應(yīng)更高的樣品。顯微鏡檢查時(shí)如果樣品不適合放在載物臺(tái)上，可以在更大的支架上或其它設(shè)備上安裝照明器和光學(xué)元件。
BXFM + BX53M照明器配置
1 | BXFM | 調(diào)焦機(jī)構(gòu)/可安裝于φ32mm的支柱 |
2 | BX3M-ILH | 照明器托架 |
3 | BXFM-ILHSPU | BXFM用減振彈簧 |
5 | U-ST | 底座 |
6 | SZ-STL | 大底座 |
BXFM + U-KMAS照明器配置
1 | BXFM | 調(diào)焦機(jī)構(gòu)/可安裝于φ32mm的支柱 |
4 | BXFM-ILHS | U-KMAS托架 |
5 | U-ST | 底座 |
6 | SZ-STL | 大底座 |
鏡筒
使用目鏡進(jìn)行顯微鏡成像，或通過(guò)相機(jī)觀察時(shí)，請(qǐng)根據(jù)觀察過(guò)程中的成像類型和操作者的觀察姿勢(shì)選擇鏡筒。
FN | 類型 | 角度類型 | 圖像 | 屈光度調(diào)節(jié)裝置數(shù) | ||
1 | U-BI30-2 | 22 | 雙目 | 固定式 | 倒像 | 1 |
2 | U-TBI-3 | 22 | 雙目 | 傾斜式 | 倒像 | 1 |
3 | U-TR30-2 | 22 | 三目 | 固定式 | 倒像 | 1 |
4 | U-TR30IR | 22 | IR用三目 | 固定式 | 倒像 | 2 |
5 | U-ETR-4 | 22 | 三目 | 固定式 | 正像 | 2 |
6 | U-TTR-2 | 22 | 三目 | 傾斜式 | 倒像 | 2 |
7 | U-SWTR-3 | 26.5 | 三目 | 固定式 | 倒像 | 2 |
8 | U-SWETTR-5 | 26.5 | 三目 | 傾斜式 | 正像 | 2 |
9 | U-TLU | 22 | 單筒 | |||
10 | U-TLUIR | 22 | IR用單筒 | |||
照明器
照明器根據(jù)選擇的觀察方法將光線投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套使用，可以讀出分光鏡組件的位置，并自動(dòng)識(shí)別觀察方法。
■: 可用于 | 編碼功能 | 光源 | BF | DF | DIC | POL | IR | FL | 混合 | AS/FS | |||
1 | BX3M-RLAS-S | 3個(gè)固定式分光鏡組件位置 | LED-內(nèi)置 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||
2 | BX3M-URAS-S | 4個(gè)可換裝的分光鏡組件位 置 | LED | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||
鹵素?zé)?/span> | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||
汞燈/光導(dǎo) | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||
3 | BX3M-RLA-S | LED | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | |||||
鹵素?zé)?/span> | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||
4 | BX3M-KMA-S | LED-內(nèi)置 | ■ | ■ | ■ | ■ | |||||||
5 | BX3-ARM | 透射光觀察專用鏡臂 | |||||||||||
6 | U-KMAS | LED | ■ | ■ | ■ | ■ | |||||||
鹵素?zé)?/span> | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||||
光源
用于樣品照明的光源和電源，請(qǐng)根據(jù)觀察方法選擇合適的光源。
標(biāo)準(zhǔn)LED光源配置
1 | BX3M-LEDR | 用于反射光的LED燈箱 |
2 | U-RCV | 使用BX3M-URAS-S，DF觀察時(shí)必須的DF轉(zhuǎn)換接口，BF觀察則視情況所需 |
3 | BX3M-PSLED | 用于LED燈箱的電源，需要BXFM系統(tǒng) |
4 | BX3M-LEDT | 用于透射光的LED燈箱 |
熒光光源配置
5 | U-LLGAD | 光導(dǎo)適配器 |
2 | U-RCV | 使用BX3M-URAS-S，DF觀察時(shí)必須的DF轉(zhuǎn)換接口，BF觀察則視情況所需 |
6, 7 | U-LLG150 (300) | 光導(dǎo)，長(zhǎng)度：1.5米（3米） |
8 | U-HGLGPS | 用于熒光的光源 |
9, 10 | U-LH100HG(HGAPO) | 用于熒光的汞燈燈箱 |
2 | U-RCV | 使用BX3M-URAS-S，DF觀察時(shí)必須的DF轉(zhuǎn)換接口，BF觀察則視情況所需 |
11 | U-RFL-T | 用于100W汞燈的電源 |
鹵素?zé)艉望u素IR光源配置
12 | U-LH100L-3 | 鹵素?zé)魺粝?/span> |
13 | U-LH100IR | IR用鹵素?zé)魺粝?/span> |
14 | U-RMT | 鹵素?zé)魺粝涞难娱L(zhǎng)線，電纜長(zhǎng)度1.7米（必要時(shí)需要延長(zhǎng)線） |
15, 16 | TH4-100 (200) | 用于100W鹵素?zé)舻?00V（200V）電源 |
17 | TH4-HS | 鹵素?zé)艄鈴?qiáng)調(diào)節(jié)開關(guān)（不用光強(qiáng)調(diào)節(jié)開關(guān)，也可以使用TH4-100（200）進(jìn)行光強(qiáng)調(diào)節(jié)） |
物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數(shù)量和類型；以及是否帶滑塊附件。
■:可用于 | 類型 | 孔數(shù) | BF | DF | DIC | MIX | ESD | 對(duì)中孔數(shù) | |
1 | U-P4RE | 手動(dòng) | 4 | ■ | 4 | ||||
2 | U-5RE-2 | 手動(dòng) | 5 | ■ | |||||
3 | U-5RES-ESD | 編碼 | 5 | ■ | ■ | ||||
4 | U-D6RE | 手動(dòng) | 6 | ■ | ■ | ||||
5 | U-D6RE-ESD-2 | 手動(dòng) | 6 | ■ | ■ | ■ | |||
6 | U-P6RE | 手動(dòng) | 6 | ■ | ■ | 2 | |||
7 | U-D7RE | 手動(dòng) | 7 | ■ | ■ | ||||
8 | U-D6RES | 手動(dòng) | 6 | ■ | ■ | ||||
9 | U-D7RES | 手動(dòng) | 7 | ■ | ■ | ||||
10 | U-D5BDREMC | 電動(dòng) | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
11 | U-5BDRE | 手動(dòng) | 5 | ■ | ■ | ||||
12 | U-D5BDRE | 手動(dòng) | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
13 | U-P5BDRE | 手動(dòng) | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | 2 | |
14 | U-D6BDRE | 手動(dòng) | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
15 | U-D5BDRES-ESD | 編碼 | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | |
16 | U-D6BDRES-S | 編碼 | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | |
17 | U-D6REMC | 電動(dòng) | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
18 | U-D6BDREMC | 電動(dòng) | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
滑塊
選擇DIC滑塊來(lái)補(bǔ)充常規(guī)的明場(chǎng)觀察。采用DIC滑塊后，在獲取有關(guān)樣品的形貌信息時(shí)，可以選擇高對(duì)比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用起來(lái)非常靈活，它在暗場(chǎng)光路中提供了分區(qū)的LED光源。
類型 | 棱鏡裂距大小 | 適用的物鏡 | ||
1 | U-DICR | 標(biāo)準(zhǔn) | 中 | MPLFLN, MPLAPON, LMPLFLN, and LCPLFLN-LCD |
2 | U-DICRH | 高分辨率 | 小 | MPLFLN, MPLAPON |
3 | U-DICRHC | 高對(duì)比度 | 大 | LMPLFLN and LCPLFLN-LCD |
用于MIX組合式觀察的MIX滑塊
類型 | 適用的物鏡 | ||
4 | U-MIXR | MIX滑塊 | MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD, MPLN-BD |
控制盒與手動(dòng)控制器
控制盒用于組合使用顯微鏡硬件與PC，手動(dòng)控制器用于硬件狀態(tài)顯示與控制
BX3M-CB（CBFM）配置
1 | BX3M-CB | 用于BX53M系統(tǒng)的控制盒 |
2 | BX3M-CBFM | 用于BXFM系統(tǒng)的控制盒 |
3 | BX3M-HS | MIX觀察控制，編碼硬件的指示燈，軟件（Stream）的可編程功能按鈕 |
4 | BX3M-HSRE | 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器旋轉(zhuǎn) |
5 | U-HSEXP | 相機(jī)的快門操作 |
U-CBS配置
6 | U-CBS | BXFM配置中用于編碼功能的控制盒 |
5 | U-HSEXP | 相機(jī)的快門操作 |
電纜
– | U-MIXRCBL (ECBL) | U-MIXR電纜，電纜長(zhǎng)度：0.5米（2.9米） |
– | BX3M-RMCBL (ECBL) | 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器電纜，電纜長(zhǎng)度：0.2米（2.9米） |
載物臺(tái)
用于放置樣品的載物臺(tái)和載物臺(tái)板。根據(jù)樣品形狀和尺寸進(jìn)行選擇。
150mm×100mm載物臺(tái)配置
1 | U-SIC64 | 150 mm×100 mm平板載物臺(tái) |
2 | U-SHG (T) | 改善操作手感的硅膠手柄套薄型（厚型） |
3 | U-SP64 | 用于U-SIC64的載物臺(tái)板 |
4 | U-WHP64 | 用于U-SIC64的晶圓板 |
5 | BH2-WHR43 | 用于4-3英寸的晶圓托架 |
6 | BH2-WHR54 | 用于5-4英寸的晶圓托架 |
7 | BH2-WHR65 | 用于6-5英寸的晶圓托架 |
8 | U-SPG64 | 用于U-SIC64的玻璃板 |
100 mm×100 mm載物臺(tái)配置
9, 10 | U-SIC4R (L) 2 | 100mm×105mm右手（左手）操作載物臺(tái) |
11 | U-MSSP4 | 用于U-SIC4R（L）2的載物臺(tái)板 |
12 | U-WHP2 | 用于U-SIC4R（L）2的晶圓板 |
6 | BH2-WHR43 | 用于4-3英寸的晶圓托架 |
13 | U-MSSPG | 用于U-SIC64的玻璃板 |
52mm×76mm載物臺(tái)配置
14, 15 | U-SVR (L) M | 52mm×76mm右手（左手）操作載物臺(tái) |
2 | U-SHG (T) | 改善操作手感的硅膠手柄套薄型（厚型） |
16 | U-MSSP | 用于U-SVR（/L）M的載物臺(tái)板 |
17, 18 | U-HR (L) D-4 | 用于右側(cè)（左側(cè)）開口的薄玻片夾 |
19, 20 | U-HR (L) DT-4 | 用于右側(cè)（左側(cè)）開口的厚玻片夾，在難以抬起標(biāo)本時(shí)，用于將玻片按在載物臺(tái)頂部表面 |
其它
21 | U-SRG | 旋轉(zhuǎn)載物臺(tái) |
22 | U-SRP | 偏光專用旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)，可以從任意位置以45度鎖定 |
23 | U-FMP | 用于U-SRP/U-SRG的移動(dòng)標(biāo)本夾，移動(dòng)范圍：30mmx30mm |
24 | U-SP | 固定式平板 |
相機(jī)適配器
用于照相觀察的適配器。可從要求的視野和放大倍率中選擇。使用以下公式可以計(jì)算實(shí)際的觀察范圍：實(shí)際視野（對(duì)角線mm）= 視野（視場(chǎng)數(shù)）÷物鏡放大倍率。
放大倍率 | 對(duì)中調(diào)節(jié) （mm） | CCD圖像范圍（視場(chǎng)數(shù)）（mm） | ||||
2/3 in. | 1/1.8 in. | 1/2 in. | ||||
1 | 帶U-CMAD3-2 的U-TV1X-2 | 1 | 10.7 | 8.8 | 8 | |
2 | U-TV1XC | 1 | ø2 | 10.7 | 8.8 | 8 |
3 | U-TV0.63XC | 0.63 | 17 | 14 | 12.7 | |
4 | U-TV0.5XC-3 | 0.5 | 21.4 | 17.6 | 16 | |
5 | U-TV0.35XC-2 | 0.35 | 22 | |||
6 | U-TV0.25XC | 0.25 | ||||
目鏡
用于直接觀察顯微鏡的目鏡。根據(jù)所需的視野進(jìn)行選擇。
■:可用于 | FN(mm) | 屈光度調(diào)節(jié)裝置 | 內(nèi)置十字絲 | |
1 | WHN10X | 22 | ||
2 | WHN10X-H | 22 | ■ | |
3 | CROSS WHN10X | 22 | ■ | ■ |
4 | SWH10X-H | 26.5 | ■ | |
5 | CROSS SWH10X | 26.5 | ■ | ■ |
濾色片
光學(xué)濾色片可以將照射到樣品的光線進(jìn)行各種類型的轉(zhuǎn)換。根據(jù)觀察需要選擇合適的濾色片。
BF, DF, FL
1, 2, 3 | U-25ND50, 25, 6 | 中性密度濾色片，透過(guò)率50％，25％，6％ |
4 | U-25LBD | 日光色濾色片 |
5 | U-25LBA | 鹵素?zé)羯珵V色片 |
6 | U-25IF550 | 綠色濾色片 |
7 | U-25L42 | 紫外阻擋濾色片 |
8 | U-25Y48 | 黃色濾色片 |
9 | U-25FR | 磨砂濾色片（BX3M-URAS-S要求） |
POL, DIC
10 | U-AN-2 | 偏光方向固定 |
11 | U-AN360-3 | 偏光方向可旋轉(zhuǎn) |
12 | U-AN360P-2 | 高質(zhì)量偏光方向可旋轉(zhuǎn) |
13 | U-PO3 | 偏光方向固定 |
14 | U-POTP3 | 偏光方向固定，與U-DICRH配套使用 |
15 | 45-IF546 | 用于偏光的綠色O45 mm濾色片 |
IR
16 | U-AN360IR | - |
17 | U-POIR | IR偏光方向固定 |
18 | U-BP1100IR | 帶通濾色片：1100nm |
19 | U-BP1200IR | 帶通濾色片：1200nm |
透射光
20 | 43IF550-W45 | 綠色O45mm濾色片 |
21 | U-POT | 起偏鏡 |
使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR時(shí)不需要AN和PO
其它
22 | U-25 | 空濾色片滑塊，與用戶定制的O25mm濾色片配套使用 |
23 | U-FC | 透射濾色片盒；組合使用O45mm濾色片 |
聚光鏡
聚光鏡能會(huì)聚和聚焦透射光線。用于透射光觀察。
1 | U-AC2 | 阿貝聚光鏡（適用于不小于5倍的物鏡） |
2 | U-SC3 | 可轉(zhuǎn)出聚光鏡（適用于不小于1.25倍的物鏡） |
3 | U-LWCD | 用于玻璃板的長(zhǎng)工作距離聚光鏡（U-MSSPG，U-SPG64） |
4 | U-POC-2 | 用于偏光的可轉(zhuǎn)出聚光鏡 |
分光鏡組件
用于BX3M-URAS-S的分光鏡組件。根據(jù)所需的觀察進(jìn)行選擇。
1 | U-FBF | 用于BF，ND濾色片可拆卸 |
2 | U-FDF | 用于DF |
3 | U-FDICR | 用于POL，固定式尼科爾正交 |
4 | U-FBFL | 用于BF，內(nèi)置ND濾色片（需要同時(shí)使用BF*和FL） |
5 | U-FWUS | 用于紫外線-FL：BP330-385 BA420 DM400 |
6 | U-FWBS | 用于藍(lán)色-FL：BP460-490 BA520IF DM500 |
7 | U-FWGS | 用于綠色-FL：BP510-550 BA590 DM570 |
8 | U-FF | 空鏡組 |
* 僅用于同軸反射照明
中間鏡筒
用于多種目的的各種類型的附件。在鏡筒與照明器之間使用。
1 | U-CA | 變倍器（1倍，1.25倍，1.6倍，2倍） |
2 | U-ECA | 變倍器（1倍，2倍） |
3 | U-EPA2 | 眼點(diǎn)調(diào)節(jié)器：+30mm |
4 | U-DP | 用于U-DP1XC的雙端口 |
5 | U-DP1XC | 用于U-DP的C-接口TV相機(jī)適配器 |
6 | U-TRU | 三目中間鏡組 |
