HS-Phys-IRis晶圓紅外檢測系統(tǒng)
產(chǎn)品介紹
HS-Phys-IRis晶圓紅外檢測系統(tǒng)專門用于包括硅材料等半導(dǎo)體晶圓及晶環(huán)生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)晶圓內(nèi)部的機械隱裂等肉眼無法觀測的內(nèi)部缺陷，其檢測直徑可達(dá)420mm。
產(chǎn)品特點
■ 直徑達(dá)420mm、厚度達(dá)30mm的晶圓檢查
■ 100µm分辨率下的紅外隱裂檢測
■ 紅外透射測量
■ .特殊設(shè)計的帶金鏡的紅外光源
■ 具有類似顯微鏡的手動控制。
■ 伺服驅(qū)動軸是可選的。
■ 框架由高精度CNC制造的Alplan材料制成，表面陽極氧化
■ 旋轉(zhuǎn)臺采用雙軸承，確保長期使用的耐久性。
■ 可使用設(shè)定輪手動調(diào)焦，手動旋轉(zhuǎn)測試臺
■ InGaAs冷卻紅外傳感器，晶片表面18x20mm檢測區(qū)域
■ 具有參數(shù)設(shè)置、快照和實時視頻錄制功能
■ 直流供電，紅外光源穩(wěn)定，可手動改變亮度
■ 使用耐用組件和低成本耗材，可降低運行成本
技術(shù)指標(biāo)：
■ 主要探測：半導(dǎo)體級硅晶片/環(huán)，光伏硅片，碳化硅晶片，藍(lán)寶石晶片等半導(dǎo)體晶片/環(huán)
■ 晶圓直徑達(dá)420mm，厚度達(dá)30mm
■測量技術(shù)：紅外透射成像
■采集：伺服驅(qū)動樣本加載，伺服驅(qū)動旋轉(zhuǎn)，手動聚焦。晶圓邊緣的實時圖像或自動圓掃描
■成像系統(tǒng)：0.1毫米分辨率的近紅外InGaAs探測器
■高靈敏度溫控FPA
■照明：鹵素?zé)襞?，帶有特殊設(shè)計的電容器、金鏡和長程過濾
■攝像頭控制：由Phys MetroStation軟件環(huán)境控制
■合規(guī)：CE、RoH
典型用戶
聯(lián)電、綠能科技、臺積電等半導(dǎo)體
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司（以下簡稱“合能陽光”）總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū)，公司主導(dǎo)產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領(lǐng)域，是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及對外投資于一體的綜合性高科技公司。
公司所服務(wù)的客戶來自于國內(nèi)企業(yè)，如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導(dǎo)體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團、Pro-Q、光為、國電集團、京運通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學(xué)研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導(dǎo)體和太陽能單位。
公司現(xiàn)有員工34人，大專本科以上學(xué)歷25人，研究生６人，博士１人，建筑面積3000m２。
近年來，公司的海外市場發(fā)展勢頭良好，產(chǎn)品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū)，目前公司在和海外同行建立產(chǎn)品加工合作關(guān)系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。
檢測儀器和產(chǎn)業(yè)耗材
HS-Phys-IRis晶圓紅外檢測系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
