

Navigator 1100生產(chǎn)型型離子束鍍膜系統(tǒng)主要特點(diǎn)如下:
· 主離子源:射頻耦合(頻率:2MHz), 無燈絲, 鈦材質(zhì)三柵級,
Ø 15cm, 離子束流:≥ 500mA離子能量:1-2keV,氬氣/氙氣或氧氣
· 輔助離子源:射頻耦合,無燈絲, 鈦材質(zhì)三柵級, Ø 10cm
離子束流:0 - 200mA,離子能量:100eV-1000eV, 氬氣或氧氣
· 中和器:射頻耦合,無燈絲, 電流900mA
· 靶材:具有兩個(gè)面,每一個(gè)面可以安裝兩種不同的靶材
· 在直徑400mm范圍內(nèi)鍍膜均勻性≤1%,無掩模
· 單基片旋轉(zhuǎn)工件架,旋轉(zhuǎn)速度:0-120轉(zhuǎn)/分 可調(diào)
· 石英晶振膜厚控制儀和可見光/紅外/深紫外波段光控可選
· 觸摸屏人機(jī)界面,全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)
· 可選項(xiàng):進(jìn)樣室,基片加熱或水冷,雙基片工件架等
離子源圖片:
設(shè)備照片:

