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廣電計(jì)量檢測集團(tuán)股份有限公司

離子束濺射鍍膜機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州尼米茲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/3/1 16:43:53
  • 訪問次數(shù)639
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蘇州尼米茲真空設(shè)備有限公司成立于2013年,致力于真空鍍膜設(shè)備,真空部件和高純材料的設(shè)計(jì),研發(fā)和銷售,并提供相應(yīng)的技術(shù)服務(wù)。公司主要經(jīng)營如下產(chǎn)品:真空鍍膜設(shè)備:磁控濺射設(shè)備,離子束濺射設(shè)備,電子束蒸發(fā)設(shè)備,銦蒸發(fā)專用設(shè)備,卷繞式磁控濺射等;真空部件:射頻射頻電源,濺射陰極, 刻蝕深度監(jiān)控系統(tǒng), 光控, 晶控, 真空泵,真空閥門,檢漏儀,,RGA 等;高純材料:濺射靶材(Cr,NiCr, AlCr, ITO, Cu, Si, Ta,Hf etc.),蒸發(fā)材料(Hf ,YbF3, SiAl etc.),高純電解鉻片等;公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、光學(xué)、太陽能,光電子,OLED、科研院所等行業(yè)。除提供產(chǎn)品外,可提供鍍膜工藝咨詢服務(wù),并提供真空鍍膜設(shè)備和真空泵的售后服務(wù)。公司目前與歐美擁有*技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)的企業(yè)達(dá)成合作關(guān)系,在中國市場上為客戶提供高水平的產(chǎn)品和服務(wù)。專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì),的服務(wù)技術(shù),快捷的服務(wù)流程,為客戶提供方便、全面、可靠的真空鍍膜系統(tǒng)和真空解決方案。
德國CuttingEdgeCoatingsGmbH(簡稱CEC)成立于2007年是漢諾威激光中心的衍生公司之一,公司致力于離子束濺射鍍膜設(shè)備的研發(fā),生產(chǎn)和工藝開發(fā)
離子束濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息
德國Cutting Edge Coatings GmbH (簡稱CEC)成立于2007年是漢諾威激光中心的衍生公司之一,公司致力于離子束濺射鍍膜設(shè)備的研發(fā),生產(chǎn)和工藝開發(fā)。CEC全自動(dòng)控制的商業(yè)化量產(chǎn)型離子束濺射鍍膜機(jī),除了可以制備常規(guī)高低折射率光學(xué)薄膜外,其創(chuàng)新性的漸變折射率膜層制備工藝,是離子束濺射技術(shù)的發(fā)展趨勢之一。該技術(shù)在制備高損傷閾值的激光薄膜,復(fù)雜濾光片和Rugate 濾光片等應(yīng)用領(lǐng)域具有優(yōu)勢。除標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備外,CEC還可以根據(jù)客戶的要求提供定制服務(wù)和離子束濺射鍍膜的解決方案。



Navigator 1100生產(chǎn)型型離子束鍍膜系統(tǒng)主要特點(diǎn)如下:

·        主離子源:射頻耦合(頻率:2MHz), 無燈絲, 鈦材質(zhì)三柵級,

Ø 15cm, 離子束流:≥ 500mA離子能量:1-2keV,氬氣/氙氣或氧氣

·        輔助離子源:射頻耦合,無燈絲, 鈦材質(zhì)三柵級,  Ø 10cm

離子束流:0 - 200mA,離子能量:100eV-1000eV, 氬氣或氧氣

·        中和器:射頻耦合,無燈絲, 電流900mA

·        靶材:具有兩個(gè)面,每一個(gè)面可以安裝兩種不同的靶材

·        在直徑400mm范圍內(nèi)鍍膜均勻性≤1%,無掩模

·        單基片旋轉(zhuǎn)工件架,旋轉(zhuǎn)速度:0-120轉(zhuǎn)/ 可調(diào)

·        石英晶振膜厚控制儀和可見光/紅外/深紫外波段光控可選

·        觸摸屏人機(jī)界面,全自動(dòng)鍍膜控制系統(tǒng)

·        可選項(xiàng):進(jìn)樣室,基片加熱或水冷,雙基片工件架等


離子源圖片:











設(shè)備照片:






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