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半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)SPM300
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/3/14 7:39:22
  • 訪問(wèn)次數(shù)278
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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北京卓立漢光儀器有限公司成立于1999年,是國(guó)內(nèi)精密光學(xué)儀器和精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)與控制技術(shù)產(chǎn)品的供應(yīng)商之一,致力于為廣大光電行業(yè)從業(yè)者提供針對(duì)性的產(chǎn)品及解決方案。 目前公司的位移臺(tái)、光學(xué)調(diào)整架等產(chǎn)品已經(jīng)形成產(chǎn)品系列化,規(guī)格多元化,已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)高等院校和激光加工設(shè)備廠商等生產(chǎn)型企業(yè)用戶(hù)單位中。自2000年通用型三光柵光譜儀量產(chǎn)后,公司持續(xù)推出多個(gè)系列的熒光、拉曼、太陽(yáng)能電池檢測(cè)等光譜測(cè)量系統(tǒng),同樣在上述用戶(hù)群體中收到歡迎。成立20年來(lái),卓立漢光始終堅(jiān)持研發(fā)創(chuàng)新、快速反應(yīng)和優(yōu)質(zhì)服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念,取得了穩(wěn)步發(fā)展。目前其在國(guó)內(nèi)擁有300多名員工,在上海、深圳、成都、西安設(shè)立分公司,在法國(guó)、波蘭、韓國(guó)等國(guó)家擁有合作關(guān)系良好的代理商,構(gòu)建了覆蓋主要市場(chǎng)的行銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)。
基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀,具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)、特異性高的優(yōu)點(diǎn)??梢詫?duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對(duì)樣品進(jìn)行掃描從而對(duì)整個(gè)面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件,可對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計(jì)算,直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶(hù)。系統(tǒng)穩(wěn)定,重復(fù)性好,可用于實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)或者產(chǎn)線監(jiān)測(cè)。
半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品概述

設(shè)備概覽

基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀,具有非接觸、無(wú)損檢測(cè)、特異性高的優(yōu)點(diǎn)??梢詫?duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對(duì)樣品進(jìn)行掃描從而對(duì)整個(gè)面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件,可對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計(jì)算,直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶(hù)。系統(tǒng)穩(wěn)定,重復(fù)性好,可用于實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)或者產(chǎn)線監(jiān)測(cè)。

① 光路接口盒:

內(nèi)置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉(zhuǎn)向控制:

光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺(tái)等設(shè)備連用,可升級(jí)振鏡選項(xiàng)

③ 明視場(chǎng)相機(jī):

明視場(chǎng)相機(jī)代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級(jí)金相顯微鏡,標(biāo)配落射式明暗場(chǎng)照明,其它照明方式可升級(jí)

⑤ 電動(dòng)位移臺(tái):

75mm*50mm 行程高精度電動(dòng)載物臺(tái),1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項(xiàng),提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標(biāo)配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

⑧ 光譜CCD:

背照式深耗盡型光譜CCD相機(jī), 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光譜儀:

F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比

SPM300 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀主要應(yīng)用

選型表

型號(hào)

描述

SPM300-mini

基礎(chǔ)款半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,只含一路532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺(tái)

SPM300-SMS532

多功能型半導(dǎo)體參數(shù)分析儀,含532nm 激光器,常規(guī)正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺(tái),

可升級(jí)耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開(kāi)放式半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀,含532nm 激光器,定制開(kāi)放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺(tái),

可升級(jí)耦合最多4 路激光器

系統(tǒng)參數(shù)

項(xiàng)目

詳細(xì)技術(shù)規(guī)格

光源

標(biāo)配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動(dòng)切換,功率可調(diào)節(jié)

光譜儀

320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

光譜分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描范圍

標(biāo)配75mm*50mm,300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場(chǎng)或者暗場(chǎng)觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開(kāi)放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測(cè)試范圍測(cè)試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復(fù)性誤差<5%

應(yīng)力測(cè)試

可直觀給出應(yīng)力屬性(拉力/ 張力),針對(duì)特種樣品,可直接計(jì)算應(yīng)力大小,應(yīng)力均勻性分析

(需額外配置電動(dòng)位移臺(tái)), 應(yīng)力解析精度0.002cm-1

晶化率測(cè)試

可自動(dòng)分峰,自動(dòng)擬合,自動(dòng)計(jì)算出晶化率,并且自動(dòng)計(jì)算晶粒大小和應(yīng)力大小

測(cè)試案例舉例


 
15168338725
產(chǎn)品對(duì)比
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