EM-AFM可在SEM中同時(shí)提供原子力顯微鏡成像和納米機(jī)械測量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，可高速獲得高分辨率的三維圖像，并且在微納米和亞納米尺度上實(shí)時(shí)觀察納米級力的相互作用，與常規(guī)SEM/FIB兼容，并與EDS, EBSD, WSD兼容。

主要功能

EM-AFM可在SEM中同時(shí)提供原子力顯微鏡成像和納米機(jī)械測量。它綜合了這兩種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)，可進(jìn)行形貌掃描、3D成像、納米壓痕/納米拉伸測試等。

l 技術(shù)特點(diǎn)

同時(shí)獲得AFM和SEM成像

與主流掃描電鏡兼容

樣品更換簡單

超高分辨率形貌掃描

用納米壓痕法測量納米力

操作穩(wěn)定性高，不受SEM電子束干擾

真空載鎖兼容

技術(shù)能力

三、應(yīng)用

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