低溫等離子體技術(shù)是近年發(fā)展起來的廢氣處理，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內(nèi)發(fā)生分解，以達(dá)到降解污染物的目的。

等離子廢氣凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子廢氣凈化器采用了特別的吸附-分解-碳化離心式抽風(fēng)安裝新工藝技術(shù)設(shè)計,采用標(biāo)準(zhǔn)模塊設(shè)計等優(yōu)點,是一種干法處理廢氣的凈化設(shè)備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術(shù),無需處理原料,無需專人負(fù)責(zé),不產(chǎn)生二次污染,換及維護保養(yǎng)方便。

等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質(zhì)齒板放電裝置，頂部放電形式產(chǎn)生離子。等離子體是一種聚集態(tài)物質(zhì)，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內(nèi)，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發(fā)生一系列分化裂解反應(yīng)，產(chǎn)生、、量的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發(fā)生一系列基元物化反應(yīng)，并在反應(yīng)過程中產(chǎn)生多種活性自由基和生態(tài)氧，即臭氧分解而產(chǎn)生的原子氧。

等離子廢氣凈化器工作原理：

廢氣經(jīng)均流板過濾棉進(jìn)入設(shè)備時，由設(shè)備高壓穩(wěn)定高頻放電，瞬間產(chǎn)生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學(xué)鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為一階段凈化。

隨廢氣進(jìn)入設(shè)備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應(yīng)進(jìn)程。整個反應(yīng)干凈全部，能量，凈化速率非常高。

等離子功能段可以激發(fā)污染物能量，促使長鏈、多鏈污染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的污染物降解為較易處理的低碳污染物。

電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

等離子體技術(shù)優(yōu)點：

1、介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。

2、反應(yīng)快，不受氣速限制。

3、采用材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設(shè)備腐蝕問題。

4、只需用電，操作極為簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。

5、設(shè)備啟動、停止，隨用隨開，不受氣溫的影響。

6、氣阻小，工藝成熟。