| 性能/參數(shù) | LKF5系列質(zhì)量流量控制器 |
| 流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
| 標(biāo)定氣體 | 內(nèi)置130條氣體可選擇，含腐蝕氣體 |
| 精度(調(diào)零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
| 高精度(調(diào)零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS)限于5SCCM-500SLPM |
| 重復(fù)性 | ±0.2%FS |
| 漂移(零點(diǎn)/滿量程) | 0.02% F.S/oC/Atm |
| 工作范圍 | 0.5-99% |
| 響應(yīng)時間 | 100毫秒(調(diào)整) |
| 啟動預(yù)熱時間 | 1秒內(nèi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)工況 | 25oC & 14.696 psia，可自定義修改 |
| 工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
| 工作濕度范圍 | 0-99%RH(非冷凝) |
| 工作壓力 | 10Bar |
| 安裝方向 | 任意 |
| 閥門狀態(tài) | 常閉 |
| 材質(zhì) | SUS316L不銹鋼、密封圈FFKM(Kalrez) |
| 顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度 |
| 數(shù)字信號 | 標(biāo)準(zhǔn)RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號 | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 第二路模擬信號 | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 電氣接口 | 標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯 選配:圓形6芯、DB9、DB15 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 20SLPM以內(nèi)：250mA 50SLPM以內(nèi)：750mA |
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針(黑色) | 4-20MA輸出信號，如選擇0-5V/10V 連接6針 |
| 2針(棕色) | 不用連接如選第二路 輸出信號可接 |
| 3針(紅色) | RS232 輸入串口RS232 輸入串口 |
| 4針(橘色) | 模擬設(shè)定信號(訂貨時確認(rèn)信號類型) |
| 5針(黃色) | RS232 輸出串口 |
| 6針(綠色) | 0-5V或0-10V輸出信號 |
| 7針(藍(lán)色) | +24VDC供電 |
| 8針(紫色) | 接地(同時作用于電源、通訊、模擬) |
備注：以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解，其他接口
| 流量 | 壓損(PSID)排放大氣中 | 接口 |
| 0.5-50SCCM | 1.0 |
1/8NPT母螺紋 |
| 100-500SCCM | 1.0 | |
| 1SLPM | 1.5 | |
| 2SLPM | 3.0 | |
| 5SLPM | 2.0 | |
| 10SLPM | 5.5 | |
| 20SLPM | 20.0 | |
| 50SLPM | 2.0 | 1/4NPT母螺紋 |
| 100SLPM | 3.2 | |
| 250SLPM | 2.4 | 1/2NPT母螺紋 |
| 500SLPM | 6.5 |
3/4NPT母螺紋 |
| 1000SLPM | 14.0 | |
| 1500SLPM | 17.0 | |
| 2000SLPM | 28.6 | |
| 3000SLPM | 16.8 | 1-1/4NPT母螺紋 |
| 5000SLPM | 14.1 | 2”NPT母螺紋 |
一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器(20-30目)使用。
二：用肥皂水對管路進(jìn)行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：在使用質(zhì)量流量控制器的時候，進(jìn)口前方加“ON/OFF電磁閥或手動切斷閥”。
四：安裝前，請將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。
五：通氣體時，請先開氣源，后設(shè)定值。
六：切勿在沒有通氣的情況下，對流量控制器進(jìn)行設(shè)定。
七：使用完以后，請將流量控制器值歸零或斷電。
八：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下、設(shè)定值是0的狀態(tài) 再操作。
