| | DF250C系列質量流量控制器-數字式 | ||||
| 量程(N2) | 10SCCM-10SLM | 20-50SLM | 100-150SLM | 200-300SLM | 400-500SLM |
| 氣體 | 非腐蝕氣體 和部分腐蝕氣體 | ||||
| 精度 | ±1.0%FS | ±2.0%FS | |||
| 重復性 | ±0.25%FS | ±0.5%FS | |||
| 有效范圍 | 2-99% | 5-99% | |||
| 響應時間 | 1秒以內 | 1.5秒以內 | 2秒以內 | ||
| 耐壓 | 1.0Mpa | ||||
| 進口壓力 | 0.5Mpa | ||||
| 工作壓差 | 0.05-0.35Mpa 根據流量不同，需要壓差不同 | ||||
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m3/s以下 | 1*10-7pa·m3/s以下 | |||
| 溫度范圍 | 5~50℃ | ||||
| 精度保證溫度 | 15~35℃ | ||||
| 保存溫度 | -10~60℃ | ||||
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) | ||||
| 材質 | 本體SUS316、SUS316L | ||||
| 密封圈VITON，選配NBR或FKM | |||||
| 電氣接口 | DB9 | ||||
| 通訊接口 | RJ45 和 圓芯4芯 | ||||
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 | ||||
| 供電 | +24VDC(±10%)350mA；±15VDC(±10%)350mA | ||||
| 管路連接 | 標配1/4F9、1/2SW | ||||
| 選配1/4UJR、3/4SW | |||||
| 重量 | 約850-3500g | ||||
DB9針腳定義：
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
| 2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
| 3針腳/紅色 | +15VDC 或+24VDC |
| 4針腳/黑色 | 電源COM 或 空 |
| 5針腳/黃色 | -15VDC 或 電源地 |
| 6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
| 7針腳/綠色 | 輸出COM |
| 8針腳/蘭色 | 輸入COM |
| 9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
RJ45針腳定義：150SLM以下(通訊用)
| 針腳 | 定義 |
| 1針腳 | 485COM |
| 2針腳 | 485COM |
| 3針腳 | 空 |
| 4針腳 | 485- |
| 5針腳 | 485+ |
| 6針腳 | 空 |
| 7針腳 | 空 |
| 8針腳 | 空 |
圓形4芯針腳定義：200SLM以上(通訊用)
| 針腳 | 定義 |
| 1針腳 | TR-(RS485) |
| 2針腳 | TR+(RS485) |
| 3針腳 | 485COM |
| 4針腳 | 485COM |
24V電源適配器定義：200SLM以上用
| 1內 | 電源GND |
| 2外 | +24VDC |
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
