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環(huán)保APP正式上線

高精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱廣東匯成真空科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/3/24 18:37:15
  • 訪問(wèn)次數(shù)764
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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廣東匯成真空科技股份有限公司是一家面向的真空應(yīng)用解決方案提供商,研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類光學(xué)鍍膜設(shè)備、功能性薄膜涂層設(shè)備、裝飾涂層設(shè)備、卷繞鍍膜設(shè)備、汽配鍍膜設(shè)備、連續(xù)式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線、超高真空系統(tǒng)等真空設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、光電設(shè)備、光伏設(shè)備、動(dòng)力電池設(shè)備及產(chǎn)品相關(guān)配件的國(guó)家企業(yè),專注設(shè)備與產(chǎn)品的相關(guān)制造工藝和應(yīng)用技術(shù)、控制軟件、工藝流程控制軟件及相關(guān)生產(chǎn)自動(dòng)化軟件的研發(fā)、應(yīng)用,并提供技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢和技術(shù)服務(wù)。 公司成立于2006年,目前擁有在職員工近300人,其中高、中級(jí)以上專業(yè)技術(shù)職稱人員80余人,公司聘請(qǐng)了國(guó)內(nèi)真空行業(yè)專家、教授和高級(jí)工程師,專門指導(dǎo)和負(fù)責(zé)公司新產(chǎn)品的研發(fā)與設(shè)計(jì),取得發(fā)明、外觀設(shè)計(jì)、實(shí)用新型61項(xiàng),版權(quán)著作權(quán)6項(xiàng)。公司擁有標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)車間,大型加工中心配備500噸液壓沖壓機(jī)、退火爐、小件機(jī)加工中心、液壓擺式剪板機(jī)、數(shù)控火焰切割機(jī)床、數(shù)控水切割平臺(tái)、自動(dòng)堆焊不銹鋼裝置、數(shù)控加工中心,研發(fā)中心配備百格劃痕儀、鉛筆硬度計(jì)、恒溫恒濕箱、分光光度計(jì)、鹽霧測(cè)試儀、金相顯微鏡、線性磨耗儀、硬度計(jì)、膜厚測(cè)試儀。
Highprecisionmulticavitymagnetronsputteringopticalcoatingmachine高精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)具備RF-ICP輔助磁控濺射后氧化模式,具有高沉積速率且光學(xué)性能匹配的特點(diǎn)
高精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息
High precision multicavity magnetron sputtering optical coating machine 高精密磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)

具備RF-ICP輔助磁控濺射后氧化模式,具有高沉積速率且光學(xué)性能匹配的特點(diǎn)。適用于車載蓋板玻璃和3C產(chǎn)品前蓋玻璃沉積AR膜,其中AR膜可為普通SiO2+Nb2O5膜系,也可為硬質(zhì)SiO2+Si3N4膜系。同時(shí)也適用于3C產(chǎn)品后蓋顏色膜(含漸變色膜)、NCVM膜的加工。

旋轉(zhuǎn)陰極裝置與行內(nèi)普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結(jié)構(gòu)定制,給客戶產(chǎn)品擺放達(dá)到的利用空間;全自動(dòng)一體的提拉升降的轉(zhuǎn)架裝置,大幅度減少機(jī)器開關(guān)門時(shí)間,大大提高了生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性;匯成離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩(wěn)定工作效率,低耗能等特點(diǎn)。

可利用時(shí)間精準(zhǔn)控制薄膜厚度,達(dá)到設(shè)計(jì)工藝要求,節(jié)省晶控,光控環(huán)節(jié),為客戶省去大量的膜厚儀耗材;可生產(chǎn)高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應(yīng)對(duì)各種用途;自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜品質(zhì);可選“校正板外部調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)”。


優(yōu)勢(shì):

?出色的均勻性
?可實(shí)現(xiàn)不同的材料或提高產(chǎn)量
?集成式等離子體源,可提高涂層質(zhì)量并進(jìn)行基板預(yù)清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標(biāo)利用率,不影響涂層規(guī)格
?簡(jiǎn)單的目標(biāo)交換和易于訪問(wèn)的系統(tǒng)維護(hù)

Product Advantage.

產(chǎn)品特點(diǎn)
HCAR系列高精密多腔磁控濺射光學(xué)鍍膜機(jī)包括以下關(guān)鍵功能:
  • 有效

    基于PC的有效自動(dòng)系統(tǒng)控制,用于涂層過(guò)程

  • 優(yōu)異

    優(yōu)異的均勻性和的生產(chǎn)良率

  • 精準(zhǔn)

    精確監(jiān)控膜厚

  • 高效

    出色的濺鍍技術(shù)和很強(qiáng)的量產(chǎn)能力

  • 匯成自主研發(fā)離子源

  • 簡(jiǎn)單

    易于操作和維護(hù)

  • 1650T
  • 2550T
規(guī)格
型號(hào) HCMS-1650T
鍍膜區(qū)域 Φ1650x H850mm
結(jié)構(gòu) 多腔室
性能
轉(zhuǎn)速 10~100RPM(可變)
進(jìn)出料室抽速 大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速 3.0×10-3Pa≤15min
極限真空度 8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 ...
主要配置
夾具系統(tǒng) 中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶 / 掛板機(jī)械結(jié)構(gòu)傳動(dòng)
掛板 (掛板寬度200~300 ) × H850mm
掛板尺寸可客制化調(diào)整
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 線性蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 UV/IR截止濾光片、帶通濾光片、RGB濾光片、AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、HR膜、AS/AF等,兼容2D/3D基材
適用波長(zhǎng) 300nm~1300nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)

Application cases.

應(yīng)用案例
規(guī)格
型號(hào) HCMS-2550T
鍍膜區(qū)域 Φ2550x H1400mm
結(jié)構(gòu) 多腔室
性能
轉(zhuǎn)速 10~100RPM(可變)
進(jìn)出料室抽速 大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速 3.0×10-3Pa≤15min
極限真空度 8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 ...
主要配置
夾具系統(tǒng) 中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶 / 掛板機(jī)械結(jié)構(gòu)傳動(dòng)
掛板 (掛板寬度200~500 ) × H1400mm
掛板尺寸可客制化調(diào)整
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計(jì)
鍍膜系統(tǒng) DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 線性蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學(xué)薄膜應(yīng)用 UV/IR截止濾光片、帶通濾光片、RGB濾光片、AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、HR膜、AS/AF等,兼容2D/3D基材
適用波長(zhǎng) 300nm~1300nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)

Application cases.

應(yīng)用案例
15700106413
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