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雙腔磁控濺射光學鍍膜機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱廣東匯成真空科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/3/25 17:45:09
  • 訪問次數(shù)420
產(chǎn)品標簽:

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廣東匯成真空科技股份有限公司是一家面向的真空應(yīng)用解決方案提供商,研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類光學鍍膜設(shè)備、功能性薄膜涂層設(shè)備、裝飾涂層設(shè)備、卷繞鍍膜設(shè)備、汽配鍍膜設(shè)備、連續(xù)式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線、超高真空系統(tǒng)等真空設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、光電設(shè)備、光伏設(shè)備、動力電池設(shè)備及產(chǎn)品相關(guān)配件的國家企業(yè),專注設(shè)備與產(chǎn)品的相關(guān)制造工藝和應(yīng)用技術(shù)、控制軟件、工藝流程控制軟件及相關(guān)生產(chǎn)自動化軟件的研發(fā)、應(yīng)用,并提供技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢和技術(shù)服務(wù)。 公司成立于2006年,目前擁有在職員工近300人,其中高、中級以上專業(yè)技術(shù)職稱人員80余人,公司聘請了國內(nèi)真空行業(yè)專家、教授和高級工程師,專門指導(dǎo)和負責公司新產(chǎn)品的研發(fā)與設(shè)計,取得發(fā)明、外觀設(shè)計、實用新型61項,版權(quán)著作權(quán)6項。公司擁有標準化生產(chǎn)車間,大型加工中心配備500噸液壓沖壓機、退火爐、小件機加工中心、液壓擺式剪板機、數(shù)控火焰切割機床、數(shù)控水切割平臺、自動堆焊不銹鋼裝置、數(shù)控加工中心,研發(fā)中心配備百格劃痕儀、鉛筆硬度計、恒溫恒濕箱、分光光度計、鹽霧測試儀、金相顯微鏡、線性磨耗儀、硬度計、膜厚測試儀。
HighprecisionMAGNETRONSPUTTERINGOPTICALCOATINGMACHINE雙腔磁控濺射光學鍍膜機濺射沉積系統(tǒng)在側(cè)壁上裝有多個圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統(tǒng)配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可地減少涂層過程中的顆粒污染,通過多個腔體的靈活組合,大大提高生產(chǎn)效率和膜層性能
雙腔磁控濺射光學鍍膜機 產(chǎn)品信息
High precision MAGNETRON SPUTTERING OPTICAL COATING MACHINE 雙腔磁控濺射光學鍍膜機

濺射沉積系統(tǒng)在側(cè)壁上裝有多個圓柱形靶材,以提高沉積速率和多層涂層,該系統(tǒng)配備有直流脈沖或射頻功率圓形陰極,垂直安裝的基板和圓柱形陰極可地減少涂層過程中的顆粒污染,通過多個腔體的靈活組合,大大提高生產(chǎn)效率和膜層性能。

旋轉(zhuǎn)陰極裝置與行內(nèi)普通平面靶裝置相比靶材使用周期與利用效率顯著提高;可客制化的基板工件架結(jié)構(gòu)定制,給客戶產(chǎn)品擺放達到的利用空間;全自動一體的提拉升降的轉(zhuǎn)架裝置,大幅度減少機器開關(guān)門時間,大大提高了生產(chǎn)效率與工藝穩(wěn)定性;匯成離子源具有工作范圍廣能量均衡,高離化率,超穩(wěn)定工作效率,低耗能等特點。

可利用時間精準控制薄膜厚度,達到設(shè)計工藝要求,節(jié)省晶控,光控環(huán)節(jié),為客戶省去大量的膜厚儀耗材;可生產(chǎn)高折射率氮化薄膜,提高薄膜硬度性能;低溫成膜,可應(yīng)對各種用途;自動調(diào)節(jié)氣體流量裝置,保持穩(wěn)定的靶電壓,保證成膜品質(zhì);可選“校正板外部調(diào)節(jié)機構(gòu)”。

AR 膜(基材玻璃透過率>91.5%):
■ 420-680nm波段,單面平均透過率>95%,反射率小于0.5(平均值)% ;
■ 雙面平均透過率>98%,反射率小于0.5(平均值)%;

顏色膜或漸變色膜:
■ 以客戶樣板為準,連續(xù)五爐隨機位置裝片或滿爐,顏色色差ΔE<1.2;
■ 水煮測試:水煮 80℃30min,3M 百格測試(1*1mm)后大于 4B。


優(yōu)勢:

?出色的均勻性
?可實現(xiàn)不同的材料或提高產(chǎn)量
?集成式等離子體源,可提高涂層質(zhì)量并進行基板預(yù)清潔
?快速更換不同尺寸基板的工具
?高目標利用率,不影響涂層規(guī)格
?簡單的目標交換和易于訪問的系統(tǒng)維護

Product Advantage.

產(chǎn)品特點
HCAR系列高精密磁控濺射光學鍍膜機包括以下關(guān)鍵功能:
  • 有效

    基于PC的有效自動系統(tǒng)控制,用于涂層過程

  • 優(yōu)異

    優(yōu)異的均勻性和的生產(chǎn)良率

  • 精準

    精確監(jiān)控膜厚

  • 高效

    出色的濺鍍技術(shù)和很強的量產(chǎn)能力

  • 匯成自主研發(fā)離子源

  • 簡單

    易于操作和維護

  • 1350T
規(guī)格
型號 HCMS-1350T
鍍膜區(qū)域 Φ1350x H700mm
結(jié)構(gòu) 雙腔室
性能
轉(zhuǎn)速 10~100RPM(可變)
進出料室抽速 大氣壓至10Pa≤5min
工藝室抽速 3.0×10-3Pa≤30min
極限真空度 8.0×10-5Pa (成膜室)
濺射靶材 Nb,Si,Cr,Al,Ti,In,Nb2O5 ...
主要配置
夾具系統(tǒng) 底部中心旋轉(zhuǎn)公轉(zhuǎn)夾具桶
排氣系統(tǒng) 低真空泵組 + 高真空泵組 + 低溫泵
真空控制系統(tǒng) 真空控制器、潘寧及皮拉尼真空計
鍍膜系統(tǒng) DC或MF磁控濺射源+ 等離子體源 + 阻抗式蒸發(fā)源 / 線性蒸發(fā)源
充氣系統(tǒng) MFC或APC自動壓強控制儀
控制系統(tǒng) PC+PLC
應(yīng)用
光學薄膜應(yīng)用 UV/IR截止濾光片、帶通濾光片、RGB濾光片、AR、硬質(zhì)AR膜、硬質(zhì)膜、HR膜、AS/AF等
適用波長 300nm~1100nm
注:可客制化(數(shù)據(jù)僅供參考)

Application cases.

應(yīng)用案例
15700106413
產(chǎn)品對比
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