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電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

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公司名稱上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/4/9 17:04:06
訪問次數(shù)361

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括： - 霍爾效應(yīng)測試儀； - 快速退火爐； - 回流焊爐，共晶爐，釬焊爐，真空燒結(jié)爐； - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)，熱蒸發(fā)鍍膜機(jī); - 探針臺，低溫探針臺，微探針臺； - 金剛石劃片機(jī)； - 球焊機(jī)，鍥焊機(jī)； - 磁控濺射鍍膜機(jī)； - 原子層沉積系統(tǒng)，等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備； - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler)； - 掃描開爾文探針系統(tǒng)； - 光學(xué)膜厚儀； - 光刻機(jī)； - 勻膠機(jī)； - 熱板，烤膠板；

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

產(chǎn)品概要： VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) 產(chǎn)品信息

VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺式設(shè)計(jì)、軟件自動操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；
- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動或自動傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(QCM)，光學(xué)監(jiān)測，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；