yutaka半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L12系列
L12系列(集成型)
功能
低壓1MPa以下
焊接規(guī)范金屬墊片
配件集成規(guī)格調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體,有毒氣體
除外標(biāo)準(zhǔn)流量
~60噸/分鐘
yutaka半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L12系列
特點(diǎn)
規(guī)范
入口壓力 最大0.99MPa 調(diào)節(jié)壓力(L12?L12H) 最大0.7MPa(量程規(guī)格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa
)調(diào)節(jié)壓力(L12V) 量程規(guī)格 -0.08~0.1MPa, -0.08~0.2MPa 耐壓壓力 1.5MPa (入口側(cè)) 簡(jiǎn)歷值 0.1 工作溫度 -10~+40°C 外部泄漏 1×10-11Pa?m3/秒?He (真空方式) 質(zhì)量 約 270g(1.125“ SEMI 規(guī)格) L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的壓力調(diào)節(jié)器。
與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。
還提供高流量和真空規(guī)格以及端面密封接頭類型。