• 功能

• 高壓
  焊接金屬墊片配件

• 調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)

• 針型

• 兼容氣體

• 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體，有毒氣體
  
  除外

• 標準流量

• ~60噸/分鐘

yutaka高壓標準半導體制造用壓力控制設備L20系列

• 特點

  規(guī)范

  入口壓力	14.8MPa以下（最大19.6MPa）
  調(diào)節(jié)壓力	最大0.99MPa（量程規(guī)格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa ）
  原始壓力的波動	進口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化0.00021MPa
  耐壓壓力	22.2MPa （入口側(cè)）
  簡歷值	0.09
  工作溫度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa?m3/s?He （真空方式）
  內(nèi)部容積	4.67厘米（不包括3個壓力表和配件）
  質(zhì)量	約1.29公斤
  安裝方式	使用前面板安裝螺母或后螺釘進行安裝（見外觀）

• L20系列專為高壓半導體工藝制造氣體而設計，基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭，是一種具有優(yōu)異外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。 此外，還提供多種選項來處理各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。