TOC超純水
微電子行業(yè)制備超純水流程中，因紫外線技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì)，而得到廣泛應(yīng)用。
有機(jī)物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn)，對(duì)超純水中TOC值的要求越來越高，因此，如何配置紫外線，如何確認(rèn)配置中紫外線設(shè)備的有效紫外劑量，進(jìn)而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運(yùn)營困擾。
185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
超純水可以在以下領(lǐng)域使用：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
（2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
（4）高壓變電器的清洗等
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TOC超純水
產(chǎn)品規(guī)格：
| 處理水量 | 2~60m3/h |
| 燈管配置 | 12~48支 |
| 燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 鎮(zhèn)流器 | 50~100%輸出功率可調(diào) |
| 反應(yīng)器材質(zhì) | 316L |
| 潔凈等級(jí) | 內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
| 法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
| 額定壓力 | PN10 |
| 控制柜等級(jí) | IP55，碳鋼噴塑 |
| 控制系統(tǒng) | 本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng) |
| UV強(qiáng)度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
