shinko-seiki升空工藝蒸發(fā)設備 沉積設備 蒸發(fā)顆粒設備AAMF-C1650SBR
shinko-seiki升空工藝蒸發(fā)設備 沉積設備 蒸發(fā)顆粒設備AAMF-C1650SBR
剝離工藝專用氣相沉積設備，其應用范圍正在擴大。
蒸發(fā)顆粒的高垂直度和基板水冷機制的采用保護了抗蝕劑并保持了精細的圖案。
這是一種恒溫皮拉尼真空計，利用燈絲絲在真空中因壓力波動而產(chǎn)生的溫度變化。該模型以其準確性和易用性而著稱。有面板型和便攜型。
【常用規(guī)格】
?液壓油為Neovac SX（SH-704）或Lion A
?液壓油為DC-705時，極限壓力為4×10 -6
Pa，功率 增加20%~ 45%
?油蒸汽回流為7×10 -7至2×10 -8 g/min?cm 2以下
[特點]
?優(yōu)秀的排氣特性。
?操作簡單，維護方便。
·長壽。
?小型、低振動。
?可以獲得干凈的真空。
- 使用安全的臥式。
【選擇后級泵時】
機械增壓泵不是可以壓縮排氣到大氣壓的泵。性能還取決于下游泵的型號和性能。因此，在配置使用機械增壓泵的排氣系統(tǒng)時，需要針對所需用途選擇最合適的后級泵。
?選擇排氣量為1/2～1/10的泵。
連續(xù)工作壓力較高時
選用大容量泵，連續(xù)工作壓力較低時選用小容量泵。
?利用油旋泵和水環(huán)泵的性能特點，在高真空運行時采用油旋泵作為后級泵，在低真空抽大量可凝性氣體時采用水泵。真空
，請選擇密封泵。
【結構】
兩個平衡的繭形轉子固定在兩個平行軸上，由電動機驅動。
隨著轉子的旋轉，從進氣口進入的氣體被限制在機殼與轉子之間的空間內(nèi)，并
通過排氣口不斷排出，有效地形成真空。?主要材質為鋁等，實現(xiàn)了輕量化。
? 采用磁力聯(lián)軸器，可在大氣壓下運行，排氣時間可縮短約50%。(DM型)
SMB-C06M型采用磁力耦合器，可從大氣壓驅動。
【結構】
兩個平衡的繭形轉子固定在兩個平行軸上，由電動機驅動。
隨著轉子的旋轉，從進氣口進入的氣體被限制在機殼與轉子之間的空間內(nèi)，并
通過排氣口不斷排出，有效地形成真空。?主要材質為鋁等，實現(xiàn)了輕量化。
? 采用磁力聯(lián)軸器，可在大氣壓下運行，排氣時間可縮短約50%。(DM型)
SMB-C06M型采用磁力耦合器，可從大氣壓驅動。
