ulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵 真空防潮箱VDE-3
ulvac-kiko真空泵 隔膜型干泵 真空防潮箱VDE-3
真空防潮箱由真空泵制造商提供。
特點
從低真空到中真空均可使用。
容易看到內部并清晰可見。
四個連接端口可用于多種用途。
兩個閥組是標準設備。
有鎖定功能,是可靠的。
通過金屬基座實現(xiàn)高密封性能和高強度。
規(guī)格
| 型號 | VDE-3 |
| 容量 | 3.3L |
| 內部尺寸 | 下端φ165×頂φ145×身高175 |
| 壓力值 | 保證高達13.3Pa |
| 底板 | 4口(密封塞×2,吸氣軟管口φ9×2付屬) |
| 封面材料 | 聚碳酸酯纖維 |
| 底板材料 | 鋁制 |
| O型圈材料 | FPM |
| 重量 | 3.0kg |
| 尺寸 | W225×L213×H235 |
通過橡膠薄膜(膜片)的往復運動而排氣的真空泵。 結構簡單,易于操作。 DTC系列是高耐腐型。
特點
所有接觸氣體的部件全部采用PTFE與FPM材料。
適合吸排有腐蝕性或有機溶劑氣體。
高真空至1000Pa。
小型。
規(guī)格
| 項目 | 單位 | 50Hz | 60Hz |
| 實際抽速 | L/min | 40 | 46 |
| 極限壓力 | Pa | 1.0×103 | |
| kPa | -100.3*1 | ||
| 電機 | W | 100 | |
| 重量 | kg | 10.2 | |
| 進出氣管道直徑 | mm | O.D.φ9×I.D.φ6 (G 1/4) | |
| 環(huán)境溫度 | ℃ | 0～40 | |
| 尺寸 | mm | 136(W) × 288(L) × 202(H) | |
| RoHS對應 | ● | ||
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC特設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
規(guī)格
型式 MS120A MS600A MS1200A 最大排氣速度 *1 m3/h 115 560 980 到達壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電源電壓 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消費電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷卻水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 最大水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 質量 *4 kg 139 241 264 適用規(guī)格 CE、cTUVus
