ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
UNECS系列是可以高速、高精度測(cè)量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括特的便攜式，自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-Portable，測(cè)量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊，是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收試驗(yàn)，可以通過分離樣品臺(tái)直接放在樣品上進(jìn)行大尺寸樣品的測(cè)量。
采用特的測(cè)量方式，實(shí)現(xiàn)了高速測(cè)量和機(jī)體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括特的便攜式，自動(dòng)式和對(duì)應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
UNECS-Portable，測(cè)量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊，是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)收試驗(yàn)，可以通過分離樣品臺(tái)直接放在樣品上進(jìn)行大尺寸樣品的測(cè)量。
特點(diǎn)
高速測(cè)定：
獨(dú)的快照方法可實(shí)現(xiàn)高達(dá)20 ms的高速測(cè)量。適用于可見光譜：
波長(zhǎng)范圍可選標(biāo)準(zhǔn)類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。緊湊型傳感器單元：
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護(hù)。豐富的產(chǎn)品陣容：
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛，包括如獨(dú)的便攜類型，手動(dòng)/自動(dòng)平臺(tái)類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數(shù)的測(cè)量
規(guī)格
| 波長(zhǎng)范圍 | 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（選擇） | |
| 點(diǎn)徑 | Φ1mm、Φ0.3mm（選擇） | |
| 入射角度 | 70o固定 | |
| 膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1ｎｍ | |
| 膜厚范圍 | 1nm ～ 2μｍ | |
| 測(cè)量時(shí)間 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| 平臺(tái) | 固定類型（Φ150mm以下、可拆卸） | |
| 控制PC | 筆記本類型（帶操作/分析軟件） | |
| 機(jī)器構(gòu)成 | 測(cè)量本體（帶固定臺(tái)）、控制器BOX、光源單元 操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD） | |
