日立超高分辨率冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
日立超高分辨率冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡樣品圖示
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V
超高分辨觀察
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV
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Regulus8240/8230/8220