低壓手動隔膜閥
閥體
SUS316L VAR不銹鋼雙重熔煉材料,用于超高純應用。
內(nèi)表面粗糙度可達Ra 5 μ in,可清掃流道:
截流區(qū)Z小化;
便于吹掃;
流量Z大化。
隔膜
鈷基超級合金(UNS R30003)材料可提供高強度和耐腐蝕性能。
設計,使用壽命長。
閥座
全封閉式閥座設計具有以下優(yōu)點:
優(yōu)秀的抗膨脹和防污染能力;
改進的氦氣泄露測試性能;
極少生產(chǎn)顆粒;
使用壽命長。
高清潔的組裝和包裝適用于高純潔度半導體產(chǎn)業(yè)。
每一個產(chǎn)品出廠都經(jīng)過氦氣測試。
技術數(shù)據(jù)
主要規(guī)格 | ||||
端接規(guī)格 | 1/4" | 3/8,1/2" | 3/4" | |
流量系Cv) | 0.27 | 0.7 | 1.7 | |
Z高使用壓力 | 300pisg(20.6bar) | |||
工作溫度 | PCTFE | -40° C-80° C(-40° F-80° F) | ||
PEA, Vespel | -26° C-177° C(-15° F-350° F) | |||
閥體內(nèi)漏率 | 1x10?? sccs He | |||
閥體外漏率 | 1x10?? sccs He |
產(chǎn)品等級 | |||
等級 | BA | EP | SEP |
閥體材料 | SS 316L | SS 316L VAR | |
內(nèi)表面粗糙度 | Ra 10μin | Ra 5μin | |
研磨 | 機械研磨加工 | 電解研磨加工 | |
清洗 | 脫脂清洗+精密清洗 | ||
包裝 | 單層 | 雙層 |
產(chǎn)品材質(zhì) | |
閥體 | SS 316L/A479, SS316L / VAR/SEMIF20-0305 |
隔膜 | 鈷基超級合金/ UNS R30003 |
閥座 | PCTFE, PFA,Vespel |
編碼規(guī)則