結合豐富的晶體生長經驗及光學、機械、電子等領域的專業(yè)經驗,我公司研發(fā)了用于晶體生長的感應加熱爐。
感應加熱爐
參數(shù)
控制器控制提升機構的提升速度、提升行程和速度
1.提升速度:0.2-10mm/h
2.提升行程:0-500mm
3轉速:0.5-40rpm
感應參數(shù):
1.工作電壓:380V AC,50/60Hz,三相
2.輸出電流:42a(需要100a空氣開關)
3.輸入電流:25 kW
4.振蕩頻率:30-80 kHz
5.循環(huán)率:80%
6.感應線圈:外徑150mm x內徑140mm x高90mm
7.保護:配備水壓、超溫、超功率保護
溫度控制參數(shù):
工作電壓;208~240V交流,單相
采用PID溫度控制,可設置30個溫升和溫降程序
設置超溫和電偶斷開保護
溫度控制精度:+/-3oC
采用C型熱電偶,探頭伸入石墨坩堝內
連續(xù)工作溫度:1000oC~2000oC
加熱速率:10oC/S(1000oC-1200oC)8oC/S(1200oC~1500oC)
爐體尺寸:內徑為400mm,高度為700mm
密封法蘭
頂部法蘭:不銹鋼折疊法蘭,帶1/4“鎧裝接口(可插入熱電偶),安裝有頂閥
底部法蘭:底部法蘭接口為kf25接口,可通過波紋與真空泵連接
定制:可根據(jù)客戶需求定制選擇。
中科瑞晶(杭州)科技有限公司/上海光學精密機械研究所的高級工程師、工學碩士、博士可以為公司、學校、科研院所提供高溫爐設計方案。