日本toel高壓過程監(jiān)測氣體分析儀 XPR3
Transpector XPR3 是基于四極桿的下一代高壓過程監(jiān)測器。 盡管外觀緊湊（總長度 237 mm），但它可以在從 2.6 Pa 到高真空的寬范圍內使用。 不需要大型復雜的差速排氣裝置。
特點
●重新設計的離子源減少了污染物的影響，延長了使用壽命，并提供清晰的信號來自雙離子源的一個離子流被送入四極桿過濾器進行分壓測量，另一個離子流被發(fā)送到全壓收集器。 這使得連續(xù)的總壓力測量具有比離子堿更高的精度。 這改善了高壓范圍內的靈敏度損失，并以1.1 Pa為單位實現(xiàn)了測量精度。
●在PVD工藝壓力下運行的新型EM（二次電子倍增管）可實現(xiàn)快速干凈的數(shù)據(jù)收集，并且無需從FC更改為EM而便于數(shù)據(jù)轉換
●新型擴展四極桿提高了低質量范圍內的過濾性能和豐度靈敏度，以及氫氣檢測靈敏度
應用實例
?PVD工藝模塊
?預清洗模塊
?脫氣模塊
雙離子源經(jīng)過改進，可最大限度地減少污染物的影響，從而延長離子源的使用壽命。
來自該雙離子源的離子流之一被送入四極桿過濾器進行分壓測量，另一個離子流被發(fā)送到全壓收集器。 這允許以比離子計更高的精度連續(xù)測量總壓力。
日本toel高壓過程監(jiān)測氣體分析儀 XPR3
產(chǎn)品規(guī)格
| 質量范圍 | 1~100（阿姆） |
|---|---|
| 分辨率 | < 1@10%，在質量 4、20、28、40 下測量（根據(jù) 1993 年 AVS 建議） |
| 質量過濾器類型 | 四極桿 |
| 探測器類型 | 離軸 FC 和微通道板 EM |
| 溫度系數(shù) | <1% / 1°C 作為峰高（在 FC 信號 Ar 1.3E-2Pa 時） |
| 質量峰穩(wěn)定性 | 24小時內<0.1amu （FC信號Ar 1.3E-2Pa，STP常數(shù)） |
| 質量峰比穩(wěn)定性 | 24小時內<2%（2/40，4/40，20/40，28/40） |
| 靈敏度（標稱） | FC@40eV/200μA：≧3E-9安培/帕 EM@40eV/200μA：≧3E-5安培/帕 |
| 最小檢測分壓 | FC@40eV/200μA：≧3E-7Pa EM@40eV/200μA：≧8E-10Pa |
| 最大工作壓力 | 光纖通道或電磁程：2.6Pa（線性操作：1.3Pa） |
| 傳感器最高工作溫度（最高烘烤溫度 ） | 150°C（200°C：去除浮渣） |
| PPM 檢測限值 | 10ppm（@0.13~0.65Pa工藝壓力） |
| 工作溫度 | 20~50°C |
| 輸入功率 | 20~30VDC，9針D型連接器（公頭），內部與系統(tǒng)接地隔離 |
| RS232串行通訊接口 | 非隔離，波特率 1200~9600 波特，9 針 D 連接器（母頭） |
| RS485 通信接口 （可尋址） | 隔離，固定波特率 （57，600），半雙工，固定地址 1~31，9 針 D 連接器（母頭） |
| 繼電器輸出 | 4個系統(tǒng)，24V-0.5A（工作狀態(tài)×1，極限設定點×3） |
| 輸入 | 2路非隔離×TTL輸入，2路觸點輸入，0路差分模擬×輸入，10~<>VDC |
