設(shè)備采用*的磁控濺射鍍膜技術(shù)，配備直流+射頻磁控濺射系統(tǒng)，用于在PET等柔性薄膜上鍍制功能性薄膜。

一、 系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介

1. 系統(tǒng)真空指標(biāo)：

1.1 濺射室極限真空度：≤1.4x10-4Pa(經(jīng)烘烤除氣后)；

1.2 系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；

1.3 系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣：濺射室40分鐘可達(dá)到6.6x10-4 Pa；

1.4 系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度：≤10Pa；

2. 真空室設(shè)計(jì)：

真空室為D形前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，約為尺寸Ф600mmx400mm，全不銹鋼結(jié)構(gòu)?？赏夂婵镜?00～150℃，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行電化學(xué)拋光家鈍化處理，接口采用金屬墊圈密封或氟橡膠圈密封；手動(dòng)前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)；

3. 磁控靶系統(tǒng)

3.1 柱狀靶材尺寸：Ф70mm×180mm  2套；

3.2 平面靶尺寸：180mm×75mm    1套；

3.3 提供靶材：不銹鋼測(cè)試靶材3塊

3.4 靶在下，向上濺射，分布在一個(gè)圓周上，各靶可獨(dú)立/順次/共同工作；

3.5 3kw直流電源2臺(tái)（數(shù)字式電源 ）；

3.6 500w自動(dòng)調(diào)諧射頻電源1臺(tái)；

3.7 磁控靶與基片的距離為：70mm。

4. 卷繞機(jī)構(gòu)：

4.1、PET材料卷經(jīng)：Φ150mm，寬幅：150mm

4.2、卷繞機(jī)構(gòu)使用張力傳感器、伺服電機(jī)、離合器、磁流體、減速器等；

4.3、鍍膜水冷轉(zhuǎn)輪一臺(tái)，直徑約為250mm；

4.4、基體材料的復(fù)卷裝置配備了全閉環(huán)數(shù)字式直接張力檢測(cè)及伺服系統(tǒng)配合的卷繞控制系統(tǒng)。自動(dòng)張力控制器通過(guò)采自張力傳感器的張力信號(hào)實(shí)現(xiàn)鍍膜過(guò)程中基體材料收、放卷卷繞的恒張力自動(dòng)控制；鍍膜輥采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

4.5、卷繞和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與真空室門(mén)連體安裝在一個(gè)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)的行走車(chē)上，隨門(mén)一起開(kāi)合?；木砝@系統(tǒng)由放卷裝置、鍍膜主輥、收卷裝置、過(guò)渡導(dǎo)輥、張力輥、測(cè)速輥等組成，以及安裝這些輥系的前后墻板等部件組成。系統(tǒng)采用伺服電機(jī)控制驅(qū)動(dòng)基體材料的收、放卷轉(zhuǎn)軸和鍍復(fù)主輥運(yùn)轉(zhuǎn)，來(lái)控制基體材料放卷卷繞和收卷卷繞操作。

放卷裝置：包括1套放卷轉(zhuǎn)軸夾持裝置、伺服電機(jī)

鍍膜主輥：1個(gè)，包括1套多通路的冷卻主輥，表面拋光后鍍鉻，伺服電機(jī)

收卷裝置：包括1套收卷轉(zhuǎn)軸夾持裝置、伺服電機(jī)

收放卷軸：3寸卷芯用氣漲軸2根

卷繞導(dǎo)輥：導(dǎo)向輥經(jīng)過(guò)表面硬化及拋光處理

張力輥：2個(gè)，導(dǎo)向輥經(jīng)過(guò)表面硬化及拋光處理

測(cè)速輥；1個(gè)