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非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測試儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州星源潔凈環(huán)境科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/5/28 16:54:39
  • 訪問次數(shù)256
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      蘇州星源潔凈環(huán)境科技有限公司成立以來致力無塵室環(huán)境參數(shù)測試、微粒子測量及局部凈化設(shè)備設(shè)計(jì),環(huán)境在線實(shí)時(shí)監(jiān)測系統(tǒng)等研發(fā)與創(chuàng)新,為用戶提供完備的環(huán)境測試解決方案和服務(wù)。目前公司主打兩條產(chǎn)品線,一條以潔凈室方面上、中、下游整體解決方案為主導(dǎo);一條以濾料、濾器、濾材等性能參數(shù)檢測為主導(dǎo)的技術(shù)定制類測試臺。目前,公司正逐步接軌業(yè)界*技術(shù)引入中國,整合自身優(yōu)勢,圍繞無塵室整體拓展整合鏈,逐步構(gòu)建環(huán)境參數(shù)檢測的便攜化、模塊化、智能化。公司是國內(nèi)專業(yè)從事凈化車間、實(shí)驗(yàn)室檢測的技術(shù)服務(wù)商,與國內(nèi)外許多公司合作,同時(shí)還自主研發(fā)諸多高科技產(chǎn)品,產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,涉及制藥行業(yè)、生物制劑、醫(yī)療器械、電子、化工等等行業(yè),產(chǎn)品遠(yuǎn)銷國內(nèi)外,受到客戶的,我們是凈化領(lǐng)域的追趕者,秉承傳統(tǒng)技術(shù)的基礎(chǔ)上不斷創(chuàng)新,不斷突破。
詳細(xì)介紹非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測試儀全自動(dòng)二維或三維測量彎曲、弧度、坡度和表面曲率,軟件模塊用于計(jì)算硅片和玻璃基板的薄膜應(yīng)力(晶圓應(yīng)力)應(yīng)用平板掃描用于非接觸式測量各種反射表面的平整度、波紋度、平均半徑和薄膜應(yīng)力,如硅片、鏡子、X射線鏡(Goebel鏡)、金屬表面或拋光聚合物
非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測試儀 產(chǎn)品信息
詳細(xì)介紹

非接觸式全自動(dòng)曲率及薄膜應(yīng)力測試儀





全自動(dòng)二維或三維測量彎曲、弧度、坡度和表面曲率,
軟件模塊用于計(jì)算硅片和玻璃基板的薄膜應(yīng)力(晶圓應(yīng)力)




 
應(yīng)用
平板掃描用于非接觸式測量各種反射表面的平整度、波紋度、平均半徑和薄膜應(yīng)力,如硅片、鏡子、X射線鏡(Goebel鏡)、金屬表面或拋光聚合物。光學(xué)測量原理確保了高精度。它是基于測量垂直入射激光束沿等寬直線的反射角。通過測量點(diǎn)之間反射角的變化,可以精確地計(jì)算出表面形狀。對于某些應(yīng)用,反射角本身很有趣。因此,軟件還提供了這種測量選項(xiàng)。
對于半導(dǎo)體技術(shù)中的應(yīng)用,涂層中的薄膜應(yīng)力可以通過測量涂層前后的半徑來計(jì)算。
大測量區(qū)域
所用測量原理的一個(gè)特點(diǎn)是它獨(dú)立于測量領(lǐng)域。
因此,在不降低精度的情況下,可以任意增大標(biāo)準(zhǔn)測量區(qū)域直徑200毫米。
測量精度高
平板掃描具有較高的測量精度。測量系統(tǒng)的分辨率為0.1弧秒。表面形狀再現(xiàn)性達(dá)100nm。
測量范圍大,工作距離大
測量范圍是可以在一次掃描中測量的箭頭高度(或最小可測量曲率半徑)。平面掃描的特點(diǎn)是測量范圍非常大,這是無法實(shí)現(xiàn)與競爭性的測量方法,如條紋干涉儀。
因此,平面掃描適用于測量具有強(qiáng)曲率的表面,如Goebel反射鏡、硅片或其他。使用的光學(xué)測量原理工作時(shí)與工作距離無關(guān),保證了較高的工作距離,因此不存在損壞試樣的危險(xiǎn)。

可選二維或三維測量
可選,根據(jù)設(shè)備類型,可以完成單線掃描或完整的3D掃描。
三維掃描是由許多具有自動(dòng)樣本定位的單行掃描組裝而成的。
該軟件為測量結(jié)果的圖形和數(shù)字表示提供了所有的可能性,如三維表示、剖面圖和測量協(xié)議。
薄膜應(yīng)力計(jì)算軟件模塊
對于半導(dǎo)體技術(shù)和所有應(yīng)用,在完成表面改性(如涂層或涂層去除)的情況下,軟件配備了用Fowkes理論計(jì)算薄膜應(yīng)力的模塊。通過這種方法,平板掃描可以快速而容易地測量薄膜應(yīng)力。 薄膜應(yīng)力是根據(jù)涂層前后的平均曲率半徑計(jì)算出來的。
技術(shù)參數(shù)
再現(xiàn)性表面曲率(p-v):小于100納米
光學(xué)測量系統(tǒng)的分辨率:0.1弧秒
光學(xué)測量系統(tǒng)精度: 1弧秒
測量速度: 10毫米--30毫米/秒
測量區(qū)域:標(biāo)準(zhǔn)直徑200 mm
試樣厚度:不限
最小曲率半徑和根據(jù)掃描長度確定的箭頭高度:
200毫米:R=18米290微米,
300毫米:R=25米435微米,
500毫米:R=43米725微米
自由工作距離:不限
測量波長:標(biāo)準(zhǔn)670納米
自動(dòng)順序測試
關(guān)鍵詞:應(yīng)力測試儀
15168338725
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