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LAM RESEARCH二手刻蝕機(jī)9600

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  • 公司名稱青島佳鼎分析儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/6/3 19:40:34
  • 訪問次數(shù)1148
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青島佳鼎實(shí)驗(yàn)室,坐落于城之向陽地——城陽。自2011年成立之初,便誓將科技之光照耀四方。
十年的時(shí)間里,公司因擴(kuò)展數(shù)度搬遷,最后選擇接受博士創(chuàng)業(yè)園的吸納并安家落戶。與此名交相輝映的是我們30余人的研發(fā)團(tuán)隊(duì),也是以博士后為主。這就為我們今后的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),使我們在未來的發(fā)展中,有底氣的大踏步前進(jìn)。目前,佳鼎實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)形成了一站式服務(wù),不僅有實(shí)驗(yàn)室分析儀器設(shè)備的研發(fā)和銷售,更有實(shí)驗(yàn)室的整體交付。做到了初時(shí)毛坯,再見時(shí)嚴(yán)謹(jǐn)整潔,隨時(shí)可以為人類健康貢獻(xiàn)自己的力量。
產(chǎn)品服務(wù)于各行各業(yè),從科研機(jī)構(gòu)到環(huán)境、食品,從醫(yī)藥生物到電子電器。我們從不止步于國內(nèi),放眼,我們聯(lián)合了包括美國賽默飛世爾、日本島津、在內(nèi)的多國實(shí)驗(yàn)室,并且積累了大量的科研資料,在分析設(shè)備的研發(fā)領(lǐng)域做了大量的深度工作。
佳鼎實(shí)驗(yàn)室堅(jiān)信以質(zhì)量為生命,以客戶為中心的經(jīng)營理念,為打造實(shí)驗(yàn)室建設(shè)規(guī)范化而不斷奮斗。

Lam9600旨在蝕刻具有高度垂直側(cè)壁的鋁金屬和TiW層,適用于0.35um線寬
LAM RESEARCH二手刻蝕機(jī)9600 產(chǎn)品信息

Lam 9600 旨在蝕刻具有高度垂直側(cè)壁的鋁金屬和 TiW 層,適用于 0.35 um 線寬。等離子體是一種中高密度、變壓器耦合等離子體,類似于 ICP 源,允許單獨(dú)控制線圈(頂部電極)功率和壓板(下部電極)功率。在腔室中,晶圓被機(jī)械夾持到水冷壓板上,He 背面氣體提供耦合。Cl2/BCl3 化學(xué)成分用于 Al 和 SF6 用于 TiW 層。TiW 蝕刻和 Cl 鈍化步驟(也使用 SF6)可以在出口鎖或主腔室中進(jìn)行。預(yù)計(jì) Cl 化學(xué)對 Al2O3 層以及具有最小底切的硅溝槽有效。

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關(guān)鍵詞:變壓器
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